Fuji errorcode - 第3626页

<mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：检查结果发现晶圆上的裸芯片发生突发性偏移。检查结果： Failed( 补充编码 )</cause > <remedy >MWU12i ：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具进行详细确认。请通过清点对象范围内的不良点、参照点、跳过点、失效点的误拾取状况而锁定…

</code>

<disp>吸取的晶圆图的切换失败了</disp>

<cause>MWU12i：在切换料槽或者用 multi block 的切换 block 时，吸取的晶圆图的切换

失败了。使机器异常停止重新启动后恢复。(补充编码)</cause>

<remedy>请用 MWU12i:1.[Ready]按键解除异常，按下[Start]按键重新开始生产。2.如果

频繁发生异常时，对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司 Support 联系。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>测出晶圆图偏移</disp>

<cause>MWU12i：检查结果表明晶圆图发生偏移。

检查结果：Failed( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具

进行详细确认。

请通过清点对象范围内的不良点、参照点、跳过点、失效点的误吸取状况来锁定「影响范

围」。

请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影

像一并提供给本公司的售后服务。

重新生产相同晶圆时，请利用晶圆更换指令将晶圆取出后再插入，然后从指定吸取坐标的

步骤开始重新操作。</remedy>

<img />

</code>

<disp>测出晶圆图偏移</disp>

<cause>MWU12i：检查结果发现晶圆上的裸芯片发生突发性偏移。

检查结果：Failed( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具

进行详细确认。

请通过清点对象范围内的不良点、参照点、跳过点、失效点的误拾取状况而锁定「影响范

围」。

请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影

像一并提供给本公司的售后服务。

重新生产相同晶圆时，请利用晶圆更换指令将晶圆取出后再插入，然后从指定拾取坐标的

步骤开始重新操作。</remedy>

<img />

</code>

<disp>测出晶圆图偏移</disp>

<cause>MWU12i：检查结果表明有可能发生晶圆图偏移或突发性偏移。

检查结果：Failed( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具

进行详细确认。

请通过清点对象范围内的不良点、参照点、跳过点、失效点的误拾取状况而锁定「影响范

围」。

请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影

像一并提供给本公司的售后服务。

重新生产相同晶圆时，请利用晶圆更换指令将晶圆取出后再插入，然后从指定拾取坐标的

步骤开始重新操作。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆生产记录文件(log file)异常</disp>

<cause>MWU12i：有可能是晶圆生产日志已损坏。

无法正确进行检查。

检查结果：Canceled( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、

拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服务。 </remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆生产记录文件(log file)异常</disp>

<cause>MWU12i：有可能是晶圆生产日志已损坏。

无法正确进行检查。

检查结果：Canceled( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)请重新检查对象晶圆的生产日志。

(2)通过上一步无法解决异常时，请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始

晶圆图、拍摄位置出错的影像一并提供给本公司的售后服务。 </remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆生产日志异常</disp>

<cause>MWU12i：可能是正在使用晶圆时，晶圆图的数据(文件)被更换。

无法正确进行检查。