Fuji errorcode - 第3627页

<img /> </code> <code id="8 000F7D3"> <disp> 晶圆生产记录文件 (log file) 异常 </disp > <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：有可能是晶圆生产日志已损坏。无法正确进行检查。检查结果： Cancel ed( 补充编码…

<cause>MWU12i：检查结果发现晶圆上的裸芯片发生突发性偏移。

检查结果：Failed( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具

进行详细确认。

请通过清点对象范围内的不良点、参照点、跳过点、失效点的误拾取状况而锁定「影响范

围」。

请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影

像一并提供给本公司的售后服务。

重新生产相同晶圆时，请利用晶圆更换指令将晶圆取出后再插入，然后从指定拾取坐标的

步骤开始重新操作。</remedy>

<img />

</code>

<disp>测出晶圆图偏移</disp>

<cause>MWU12i：检查结果表明有可能发生晶圆图偏移或突发性偏移。

检查结果：Failed( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具

进行详细确认。

请通过清点对象范围内的不良点、参照点、跳过点、失效点的误拾取状况而锁定「影响范

围」。

请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影

像一并提供给本公司的售后服务。

重新生产相同晶圆时，请利用晶圆更换指令将晶圆取出后再插入，然后从指定拾取坐标的

步骤开始重新操作。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆生产记录文件(log file)异常</disp>

<cause>MWU12i：有可能是晶圆生产日志已损坏。

无法正确进行检查。

检查结果：Canceled( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、

拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服务。 </remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆生产记录文件(log file)异常</disp>

<cause>MWU12i：有可能是晶圆生产日志已损坏。

无法正确进行检查。

检查结果：Canceled( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)请重新检查对象晶圆的生产日志。

(2)通过上一步无法解决异常时，请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始

晶圆图、拍摄位置出错的影像一并提供给本公司的售后服务。 </remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆生产日志异常</disp>

<cause>MWU12i：可能是正在使用晶圆时，晶圆图的数据(文件)被更换。

无法正确进行检查。

检查结果：Canceled( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认晶圆图的数据(行列数)在生产过程中是否有变更。

如果晶圆图数据没有变更，则请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶

圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服务。 </remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆生产日志异常</disp>

<cause>MWU12i：可能在使用晶圆的过程中，变更了对象元件数据的元件尺寸。

无法正确进行检查。

检查结果：Canceled( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认是否在生产过程中变更了 Job 内元件数据的元件尺寸。

如果元件尺寸没有变更，则请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆

图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服务。 </remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆生产记录文件(log file)异常</disp>

<cause>MWU12i：未发现需要检查的晶圆生产日志。

可能是对应晶圆还未开始生产或晶圆生产日志已损坏。

检查结果：Canceled( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)晶圆还未开始生产时，请开始生产需要检查的晶圆。

(2) 请查看存储器。(可用空间)。

(3) 不能解决时，请重新接通电源。

(4)通过以上步骤无法解决异常时，请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原

始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影像一并提供给本公司的售后服务。</remedy>