Fuji errorcode - 第3630页

<disp> 检查指令失败 </disp > <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：未发现检查工具。检查结果： Cancel ed( 补充编码 )</cau se> <remedy >MWU12i ： (1) 请接通电源，重新检查对象晶圆的生产日志。 (2) 执行 1 后仍没有解决问题时，请重装软件。 (3)…

<img />

</code>

<disp>裸芯片的误拾取</disp>

<cause>MWU12i：可能拾取了对象外的裸芯片而导致误贴装。

检查结果：Failed( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具

进行详细确认。

请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影

像一并提供给本公司的售后服务。 </remedy>

<img />

</code>

<disp>重复处理异常</disp>

<cause>MWU12i：对于同一个位置裸芯片，出现了意外的处理结果。

在对象晶圆中多次连续指定拾取开始点时，拾取方向有可能出错。

检查结果：Failed( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具

进行详细确认。

拾取方法没有错误时，请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、

拍摄位置出错的影像一并提供给本公司的售后服务。 </remedy>

<img />

</code>

<disp>检查指令失败</disp>

<cause>MWU12i：未发现检查工具。

检查结果：Canceled( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)请接通电源，重新检查对象晶圆的生产日志。

(2) 执行 1 后仍没有解决问题时，请重装软件。

(3)请参照晶圆图对比工具相关的运用手册，然后利用晶圆对比工具进行详细确认。

请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影

像一并提供给本公司的售后服务。</remedy>

<img />

</code>

<disp>检查指令失败</disp>

<cause>MWU12i：由于未检测到检查工具的应答而中断处理。

检查结果：Canceled( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)请重新检查对象晶圆的生产日志。

(2)请接通电源并重新检查对象晶圆生产日志。

(3)执行 1、2 后仍没有解决问题时，请重装软件。

(4)请参照晶圆图对比工具相关的运用手册，然后利用晶圆对比工具进行详细确认。

请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影

像一并提供给本公司的售后服务。</remedy>

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</code>

<disp>内部处理异常(晶圆生产日志检查)</disp>

<cause>MWU12i：强制结束晶圆生产日志检查。

检查结果：Canceled

由于没有完成检查，因此请先实施对策检查在重新开始运转。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)实施手动指令的晶圆生产日志机上检查指令。

(2)请重新接通电源，实施手动指令的晶圆生产日志机上检查指令。

(3)请参照晶圆图对比工具相关的运用手册，然后利用晶圆对比工具进行详细确认。

请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影

像一并提供给本公司的售后服务。</remedy>

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</code>

<disp>影像处理对象元件搜索失败(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：以下的影像处理对象的搜索失败了。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：(1)请从料盘箱中取出发生异常的料槽的托架。(2)请按下[START]按

钮，重新开始运转。显示补充向导画面，请实施更换指令。(3)请再次补充并指定吸取开始

点。如果还是发生异常，则请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人员。

</remedy>

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</code>

<disp>发生了裸芯片的吸取错误。（晶圆供应装置）</disp>