Fuji errorcode - 第3632页

<cause>M WU12i ：发生了裸芯片的吸取错误。重新开始运转后，指定吸取开始位置。吸取错误的裸芯片在吸取开始位置指定画面上使用红色圆圈显示。 ( 补充编码 ) </cause> <remedy >MWU12i ：想要再次对吸取错误的裸芯片进行吸取动作时，指定该裸芯片的开始位置。 </remedy > <img /> </code&g…

<cause>MWU12i：强制结束晶圆生产日志检查。

检查结果：Canceled

由于没有完成检查，因此请先实施对策检查在重新开始运转。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)实施手动指令的晶圆生产日志机上检查指令。

(2)请重新接通电源，实施手动指令的晶圆生产日志机上检查指令。

(3)请参照晶圆图对比工具相关的运用手册，然后利用晶圆对比工具进行详细确认。

请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影

像一并提供给本公司的售后服务。</remedy>

<img />

</code>

<disp>影像处理对象元件搜索失败(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：以下的影像处理对象的搜索失败了。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：(1)请从料盘箱中取出发生异常的料槽的托架。(2)请按下[START]按

钮，重新开始运转。显示补充向导画面，请实施更换指令。(3)请再次补充并指定吸取开始

点。如果还是发生异常，则请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>发生了裸芯片的吸取错误。（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：发生了裸芯片的吸取错误。重新开始运转后，指定吸取开始位置。吸

取错误的裸芯片在吸取开始位置指定画面上使用红色圆圈显示。(补充编码)

</cause>

<remedy>MWU12i：想要再次对吸取错误的裸芯片进行吸取动作时，指定该裸芯片的开

始位置。</remedy>

<img />

</code>

<disp>发生吸取错误的元件不能重试。（晶圆喂料机）</disp>

<cause>MWU12i：因为吸取的位置信息丢失，所以不能将晶圆图的状态变更为吸取错

误。可能是吸取结果不能立即反映到上传的晶圆图内。(补充编码)

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集出错时的可追溯数据并联系本公司的售后服务人员。继续生

产时，请在异常解除后重新开始运转。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图状态变更失败。（晶圆喂料机）</disp>

<cause>MWU12i：不能变更晶圆图状态。可能是影像处理与吸取结果不能立即反映到上

传的晶圆图内。(补充编码)

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集出错时的可追溯数据并联系本公司的售后服务人员。继续生

产时，请在异常解除后重新开始运转。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>发生晶圆生产日志的检查超时</disp>

<cause>MWU12i：晶圆生产日志的检查未在规定时间内完成，因此动作中断。・机器和

MWU12i 的连接可能发生不良。・晶圆生产日志的文件尺寸变大，检查所需的时间可能变

长。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)请重新安装 MWU12i。(2)请重新接通机器的电源。(3)请进行以下

操作并重新开始运转。(3.1)请选择[Manual]－[Manage Production]－[Inspect wafer

production log]。(3.2)请点击[Inspect wafer production log]执行晶圆生产日志检查，确认晶

圆图表未发生偏移。(3.3)请点击[Inspect wafer production log]重置晶圆生产日志。※检查异

常时可能是图表偏移。请参照「晶圆图表核对工具运用手册」锁定发生偏移的位置。※晶

圆生产日志的重置需要将账号设置为「工程师」。晶圆生产日志检查的使用方法和检查异

常的对应方法请参照「晶圆生产日志机上检查运用手册」。</remedy>

<img />

</code>

<disp>已检测到顶起位置偏移</disp>

<cause>MWU12i：检测到试图以不同于吸取前影像处理所识别的结果坐标向上顶起。

( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：1.请解除异常并重新开始生产。

2.经常发生错误时，请收集出错时的跟踪数据和晶圆生产日志并联系售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>试图用 1 段式顶起 MWU12i 执行 2 段式顶起动作。</disp>

<cause>MWU12i：1 段式顶起 MWU12i 无法执行 2 段式顶起动作。(补充编码)</cause>