Fuji errorcode - 第3633页

<img /> </code> <code id="8 000F7E1"> <disp> 发生晶圆生产日志的检查超时 </disp > <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：晶圆生产日志的检查未在规定时间内完成，因此动作中断。・机器和 MWU12i 的连接可能发生不良。・ …

<cause>MWU12i：发生了裸芯片的吸取错误。重新开始运转后，指定吸取开始位置。吸

取错误的裸芯片在吸取开始位置指定画面上使用红色圆圈显示。(补充编码)

</cause>

<remedy>MWU12i：想要再次对吸取错误的裸芯片进行吸取动作时，指定该裸芯片的开

始位置。</remedy>

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<disp>发生吸取错误的元件不能重试。（晶圆喂料机）</disp>

<cause>MWU12i：因为吸取的位置信息丢失，所以不能将晶圆图的状态变更为吸取错

误。可能是吸取结果不能立即反映到上传的晶圆图内。(补充编码)

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集出错时的可追溯数据并联系本公司的售后服务人员。继续生

产时，请在异常解除后重新开始运转。

</remedy>

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<disp>晶圆图状态变更失败。（晶圆喂料机）</disp>

<cause>MWU12i：不能变更晶圆图状态。可能是影像处理与吸取结果不能立即反映到上

传的晶圆图内。(补充编码)

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集出错时的可追溯数据并联系本公司的售后服务人员。继续生

产时，请在异常解除后重新开始运转。

</remedy>

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</code>

<disp>发生晶圆生产日志的检查超时</disp>

<cause>MWU12i：晶圆生产日志的检查未在规定时间内完成，因此动作中断。・机器和

MWU12i 的连接可能发生不良。・晶圆生产日志的文件尺寸变大，检查所需的时间可能变

长。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)请重新安装 MWU12i。(2)请重新接通机器的电源。(3)请进行以下

操作并重新开始运转。(3.1)请选择[Manual]－[Manage Production]－[Inspect wafer

production log]。(3.2)请点击[Inspect wafer production log]执行晶圆生产日志检查，确认晶

圆图表未发生偏移。(3.3)请点击[Inspect wafer production log]重置晶圆生产日志。※检查异

常时可能是图表偏移。请参照「晶圆图表核对工具运用手册」锁定发生偏移的位置。※晶

圆生产日志的重置需要将账号设置为「工程师」。晶圆生产日志检查的使用方法和检查异

常的对应方法请参照「晶圆生产日志机上检查运用手册」。</remedy>

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<disp>已检测到顶起位置偏移</disp>

<cause>MWU12i：检测到试图以不同于吸取前影像处理所识别的结果坐标向上顶起。

( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：1.请解除异常并重新开始生产。

2.经常发生错误时，请收集出错时的跟踪数据和晶圆生产日志并联系售后服务人员。

</remedy>

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<disp>试图用 1 段式顶起 MWU12i 执行 2 段式顶起动作。</disp>

<cause>MWU12i：1 段式顶起 MWU12i 无法执行 2 段式顶起动作。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请采取下列措施进行对应。

・如需使用 1 段式顶起 MWU12i，则请在外形数据中不要选用 2 段式顶起模式。

・如需以 2 段式顶起模式进行生产，则请改用 2 段式顶起 MWU12i。</remedy>

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<disp>存在不能与扩展式载具同时使用的晶圆</disp>

<cause>MWU12i：使用扩展式载具时，不能同时供应只有晶圆框的晶圆以及其他晶圆载

具。(补充编码不能同时使用的位号)(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：・使用扩展式载具时，请更换为可以与只有晶圆框的晶圆或其他晶

圆载具相同规格的扩展式载(例:8→12 英寸的方形扩展式载具)。或者，在 Job 上取消只有

晶圆框的晶圆或其他晶圆载具的供料。・使用只有晶圆框的晶圆或其他晶圆载具时，请将

扩展式载具全部变更为只有晶圆框的晶圆或非扩展式载具的晶圆载具。然后，再通过 Job

取消扩展式载具的供应。

</remedy>

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</code>

<disp>内部处理异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：试图向内部数据中安装不正确的数值。( 补充编码的子码表示为错误

的具体内容。１：数据超出最小值。２：数据超出最大值。３：字符串数字超出上限。

４：不存在数据项目。５：指数超出配列。)