Fuji errorcode - 第3635页

</cause> <remedy >MWU12i ：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。 < /remedy> <img /> </code> <code id="8 000F7FE"> <disp> 内部处理异常（晶圆供料机） </disp > <mc>N…

<remedy>MWU12i：请采取下列措施进行对应。

・如需使用 1 段式顶起 MWU12i，则请在外形数据中不要选用 2 段式顶起模式。

・如需以 2 段式顶起模式进行生产，则请改用 2 段式顶起 MWU12i。</remedy>

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</code>

<disp>存在不能与扩展式载具同时使用的晶圆</disp>

<cause>MWU12i：使用扩展式载具时，不能同时供应只有晶圆框的晶圆以及其他晶圆载

具。(补充编码不能同时使用的位号)(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：・使用扩展式载具时，请更换为可以与只有晶圆框的晶圆或其他晶

圆载具相同规格的扩展式载(例:8→12 英寸的方形扩展式载具)。或者，在 Job 上取消只有

晶圆框的晶圆或其他晶圆载具的供料。・使用只有晶圆框的晶圆或其他晶圆载具时，请将

扩展式载具全部变更为只有晶圆框的晶圆或非扩展式载具的晶圆载具。然后，再通过 Job

取消扩展式载具的供应。

</remedy>

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</code>

<disp>内部处理异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：试图向内部数据中安装不正确的数值。( 补充编码的子码表示为错误

的具体内容。１：数据超出最小值。２：数据超出最大值。３：字符串数字超出上限。

４：不存在数据项目。５：指数超出配列。)

</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>内部处理异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：内部数据的取得失败了。( 补充编码的子码表示为错误的具体内容。

４：不存在数据项目。５：指数超出配列。)

</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

<img />

</code>

<disp>内部处理异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：由于处理不正确而停止。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>跟踪数据库未初始化</disp>

<cause>跟踪数据库未初始化。( 补充编码 )</cause>

<remedy>(1) 请重新接通电源。(2) 如果执行上述步骤后还是无法消除异常，则请重新安

装软件。(3)如果执行上述步骤后还是无法消除异常，则请收集出错时的跟踪数据并联系售

后服务人员。

</remedy>

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</code>

<disp>未能确保页数</disp>

<cause>未能确保指定页数。( 补充编码 )</cause>

<remedy>(1) 请重新接通电源。(2) 如果执行上述步骤后还是无法消除异常，则请重新安

装软件。(3)如果执行上述步骤后还是无法消除异常，则请收集出错时的跟踪数据并联系售

后服务人员。

</remedy>

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</code>

<disp>任务数超上限</disp>

<cause>分配到页的任务数超出规定上限。( 补充编码 )</cause>

<remedy>(1) 请重新接通电源。(2) 如果执行上述步骤后还是无法消除异常，则请重新安

装软件。(3)如果执行上述步骤后还是无法消除异常，则请收集出错时的跟踪数据并联系售

后服务人员。

</remedy>

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