Fuji errorcode - 第3831页

在测定 Job 中，需要「往复臂平台１～４」的「 Fli p 使用 / 未使用」和各自基准次数的贴装数序。但是，对于「 Flip 的使用·未使用」，可以将 Job 分开。此时，创建「使用 Flip 进行全部平台测定的 Job 」和「不进行的 Job 」。 ( 补充编码在子码中显示测定数据不足的往复臂平台号码。 0x01: 平台 1 0x02: 平台 2 0x04: 平台 3 0x08: 平台 4 0x10: 平台 1…

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，连同错误发生时的操作步骤一起与

弊公司 Support 联系。为了重新开始运转，请重新接通总电源开关。</remedy>

<img />

</code>

<disp>往复臂吸取修正测定错误（影像处理异常）</disp>

<cause>由于影像处理异常或发生吸取失误，测定数据数没有达到基准次数。

( 补充编码在子码中显示不能测定的往复臂平台号码。

0x01:平台 1

0x02:平台 2

0x04:平台 3

0x08:平台 4

0x10:平台 1(Flip 使用)

0x20:平台 2(Flip 使用)

0x40:平台 3(Flip 使用)

0x80:平台 4(Flip 使用) ) </cause>

<remedy>请确认晶圆的状态。确认筒夹的顶起量(MWU)、吸嘴的压入量等(NXT,MWU)，

调整到能够正常吸取。

另外，也请确认 PP 工作头和晶片往复臂、Flip 间的交接状态，调整到能够正常交接。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>往复臂吸取修正测定错误（顺序数异常）</disp>

<cause>由于测定 Job 的不正确，测定数据数没有达到基准次数。

在测定 Job 中，需要「往复臂平台１～４」的「Flip 使用/未使用」和各自基准次数的贴装

数序。

但是，对于「Flip 的使用·未使用」，可以将 Job 分开。

此时，创建「使用 Flip 进行全部平台测定的 Job」和「不进行的 Job」。

( 补充编码在子码中显示测定数据不足的往复臂平台号码。

0x01:平台 1

0x02:平台 2

0x04:平台 3

0x08:平台 4

0x10:平台 1(Flip 使用)

0x20:平台 2(Flip 使用)

0x40:平台 3(Flip 使用)

0x80:平台 4(Flip 使用) ) </cause>

<remedy>请参照子码，追加不足的贴装数序或者变更基准次数。

基准次数在「General」-「Panel Information」-「MeasurementCount」中指定。</remedy>

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</code>

<disp>内部处理异常( OFC 热补正测定 )</disp>

<cause>系统内发生了处理异常。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，连同错误发生时的操作步骤一起与

弊公司 Support 联系。为了重新开始运转，请重新接通总电源开关。</remedy>

<img />

</code>

<disp>OFC 热补正测定时发生了意外的异常。</disp>

<cause>种类取得、固有值取得·设定等中的异常

( 补充编码面向研发者的编码 ) </cause>

<remedy>对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司 Support 联系。

</remedy>

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</code>

<disp>影像处理结果异常（吸嘴测定结果）</disp>

<cause>OFC 热补正测定时发生了吸嘴影像处理错误。

可考虑以下的原因。

·相机光源没有亮灯。

·元件相机上有污垢。异物落下。

·吸嘴的前端有污垢。

( 补充编码单元中设定的补充编码。(影像处理装置的错误编码) ) </cause>

·影像暗淡时

(1)请确认相机光源是否亮灯。

(2)请确认触发线。

·影像不清晰时

(1)请清扫吸嘴。

(2)请清扫元件相机上的玻璃。</remedy>

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</code>

<disp>吸嘴没安装</disp>