Fuji errorcode - 第4046页

<img /> </code> <code id="8 93A0000"> <disp> 不能进行手动指令的操作 </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>N XTR ：由于未完成智能加载车移动范围的设置和模组位置的测定，所以无法进行手动指令的操作。 ( 补充编码 )</ca…

</remedy>

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<disp>Holder 跳过设置时通信异常（晶圆喂料机）</disp>

<cause>NXT-H：因为与晶圆喂料机的通信失败，所以 Holder 跳过的设置无法正常完成。

(补充编码)</cause>

<remedy>NXT-H：请拆下晶圆喂料机后重新安装。或者请重启机器。然后再重新设置

Holder 跳过。

</remedy>

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<disp>不能进行手动指令的操作</disp>

<cause>NXTR：不能对智能加载车进行手动指令操作。(补充编码)</cause>

<remedy>NXTR：请按下智能加载车的开始键。然后重新进行手动指令的操作。

</remedy>

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<disp>不能进行手动指令的操作</disp>

<cause>NXTR：由于按下了智能加载车的紧急停止键，所以不能进行手动指令的操作。

(补充编码)</cause>

<remedy>NXTR：请解除智能加载车的紧急停止键。然后重新进行手动指令的操作。

</remedy>

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<disp>不能进行手动指令的操作</disp>

<cause>NXTR：由于未完成智能加载车移动范围的设置和模组位置的测定，所以无法进

行手动指令的操作。(补充编码)</cause>

<remedy>NXTR：请设置智能加载车的移动范围并测定模组位置。然后重新进行手动指令

的操作。</remedy>

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<disp>不能进行手动指令的操作</disp>

<cause>NXTR：由于未完成智能加载车移动范围的设置，所以不能进行手动指令的操

作。(补充编码)</cause>

<remedy>NXTR：请设置智能加载车的移动范围。然后重新进行手动指令的操作。

</remedy>

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<disp>不能进行手动指令的操作</disp>

<cause>NXTR：由于未完成智能加载车标准位置一侧的移动范围的设置，所以无法进行

手动指令的操作。(补充编码)</cause>

<remedy>NXTR：请设置智能加载车标准位置一侧的移动范围然后重新进行手动指令的操

作。</remedy>

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<disp>跳过 sequence 不整合异常</disp>

<cause>AIMEX：因检测出跳过 sequence 不整合而异常停止。( 补充编码指子错误编码对

象通道。0:LANE1 1：LANE2 )( 补充编码 )</cause>

<remedy>AIMEX：(1)取得跟踪数据后，请打开指定 sequence 画面、按下[Clear settings]

键重新开始。(2)以上对策无法解决问题时请传送 Job 重新开始。</remedy>

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<disp>未对应 Holder 跳过运用工作头</disp>

<cause>NXT-H：机器上安装了未对应 Holder 跳过运用的工作头。(补充编码)</cause>

<remedy>NXT-H：此工作头未对应 Holder 跳过运用。继续生产时，请进行要跳过的

Holder 的保养，或者更换新的工作头。

</remedy>

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<disp>生产模式切换失败：工作头和元件相机的组合异常</disp>

<cause>NXTR：由于非对应的工作头和元件相机的组合而停止了动作。(补充编

码)</cause>

<remedy>NXTR：请更换为以下对应的工作头和元件相机的组合。

PC01:所有工作头

PC01SL:RH02</remedy>

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