Fuji errorcode - 第4298页

<img /> </code> <code id="8FC 50000"> <disp> 不能 识别料站单 元。 </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause> 因无法 识别料站单元， 无法继续进行 处理。 ( 补充编码 无 )</caus e> <remedy >1. 安装了料…

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<remedy>1．料站的 MTU-Ｌ的更换后，请重新启动模组。2．不能复原时，对不起麻烦
您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司 Support 联系。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8FC20000">
<disp>供料托架的更换</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>生产程序中指定的料站种类与安装着的料站种类不同。
( 补充编码 无 )</cause>
<remedy>1．供料托架的更换后，请重新启动模组。
2．不能复原时，对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司 Support 联系。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="8FC30000">
<disp>料站匹配性的确认异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>生产程序中指定的料站种类或者安装着的料站种类不明确。
( 补充编码 无 )</cause>
<remedy>1．对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司 Support 联系。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="8FC40000">
<disp>料站位置不一致</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>机器的料站位置与被传输的 Job 的料站位置不一致。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请重新传输符合机器的料站位置的 Job。</remedy>
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</code>
<code id="8FC50000">
<disp>不能识别料站单元。</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>因无法识别料站单元，无法继续进行处理。( 补充编码 无 )</cause>
<remedy>1.安装了料站单元时请执行手动指令的[更换单元]-[更换料站托架]的指令，暂
时拆除料站单元后重新安装后重新开始补料或重新换线。没有安装料站单元时，请先切断
机的器塑料外壳式断路器并进行连接，然后在重新进行元件补充或换线。2.不能解决时，
请获取发生错误时的跟踪数据并与本公司客服中心联系。</remedy>
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</code>
<code id="8FC60000">
<disp>检测出规格范围外的晶圆或者料盘</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>在晶圆或者料盘高度的测定中，检测出料槽占有的规格范围外的晶圆或者料盘。
( 补充编码 )</cause>
<remedy>1)在对象料槽的上下存在生产中不使用的晶圆或者料槽时，可能出现高度误检
测。请在取出后再进行生产。
2)可以安装的规格根据料槽而不同，请对应高度变更料槽。
料槽１：6mm 以下
料槽２：16mm 以下
料槽３～：26mm 以下</remedy>
<img />
</code>
<code id="8FC70000">
<disp>晶圆或者料盘高于 Job 设定</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>在晶圆或者料盘高度的测定中，检测出高于 Job 设定值的晶圆或者料盘。 ( 补充
编码 )</cause>
<remedy>1)请将安装在料槽上的元件更换为 Job 中设定的元件。
2）请确认晶圆夹环（Grip ring）厚度是否与 Job 相一致。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8FC80000">
<disp>晶圆或者料盘低于 Job 设定</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>在晶圆或者料盘高度的测定中，检测出低于 Job 设定值的晶圆或者料盘。 ( 补充
编码 ),NXT,AIMEX,NXT-H,NEO,MWU12i,SNC,NXTP,REELLOADER</cause>
<remedy>1)请将安装在料槽上的元件更换为 Job 中设定的元件。
2）请确认晶圆夹环（Grip ring）厚度是否与 Job 相一致。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8FC90000">
<disp>晶圆环尺寸或者晶圆夹环尺寸异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：因为 Job 上设定的晶圆夹环内径大于机器上识别的晶圆环内径，机器
异常停止。对象料槽上安装的晶圆出错，或者 Job 的晶圆夹环的设定出错。关于每个晶圆
尺寸的最大值等，请参照「晶圆生产运用手册」。( 补充编
码 ),MWU12i,SNC,NXTP,REELLOADER</cause>
<remedy>MWU12i：安装的晶圆为尺寸合适时，请进行以下变更。
1．因为 Job 的[Package Data] - [Package Information] - [Grip Ring Inside Diameter]过大，请变
更到实际安装的晶圆夹环内径的尺寸。
2．使用晶圆环的特殊接合片时，因为 2D 码上记载的内径值成为最大值，变更１的设定时
请不要超过此尺寸。