Fuji errorcode - 第4300页
3 ．使用方孔型的晶圆 环的特殊接 合片时，必须 输入此值。 不使用晶圆夹 环时，请将 Job 的 [Package Data] - [Packag e Information] - [Grip Ring Height] 设定为 0 。不需要 高的吸取面 时，请设定 Job 的 [Shape Data] - [Shape Pr ocess] - [Die] - [Pr essurePin] - [ Push Up Pot Heig ht…
<cause>在晶圆或者料盘高度的测定中，检测出高于 Job 设定值的晶圆或者料盘。 ( 补充
编码 )</cause>
<remedy>1)请将安装在料槽上的元件更换为 Job 中设定的元件。
2）请确认晶圆夹环（Grip ring）厚度是否与 Job 相一致。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8FC80000">
<disp>晶圆或者料盘低于 Job 设定</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>在晶圆或者料盘高度的测定中，检测出低于 Job 设定值的晶圆或者料盘。 ( 补充
编码 ),NXT,AIMEX,NXT-H,NEO,MWU12i,SNC,NXTP,REELLOADER</cause>
<remedy>1)请将安装在料槽上的元件更换为 Job 中设定的元件。
2）请确认晶圆夹环（Grip ring）厚度是否与 Job 相一致。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8FC90000">
<disp>晶圆环尺寸或者晶圆夹环尺寸异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：因为 Job 上设定的晶圆夹环内径大于机器上识别的晶圆环内径，机器
异常停止。对象料槽上安装的晶圆出错，或者 Job 的晶圆夹环的设定出错。关于每个晶圆
尺寸的最大值等，请参照「晶圆生产运用手册」。( 补充编
码 ),MWU12i,SNC,NXTP,REELLOADER</cause>
<remedy>MWU12i：安装的晶圆为尺寸合适时，请进行以下变更。
1．因为 Job 的[Package Data] - [Package Information] - [Grip Ring Inside Diameter]过大，请变
更到实际安装的晶圆夹环内径的尺寸。
2．使用晶圆环的特殊接合片时，因为 2D 码上记载的内径值成为最大值，变更１的设定时
请不要超过此尺寸。
3．使用方孔型的晶圆环的特殊接合片时，必须输入此值。不使用晶圆夹环时，请将 Job
的[Package Data] - [Package Information] - [Grip Ring Height]设定为 0。不需要高的吸取面
时，请设定 Job 的[Shape Data] - [Shape Process] - [Die] - [PressurePin] - [Push Up Pot Height
Offset]。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8FCA0000">
<disp>邻接子站位 料盘状态异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>NXTR：在邻接子站位处发生了异常。推测原因如下。1. 邻接子站位处的料盘太
高。2. 在邻接子站位处料盘可能会与吸嘴发生干涉。(补充编码)
</cause>
<remedy>NXTR：1. 如果邻接子站位处的料盘是 Job 中未使用的料盘，则请移除料盘。如
果料盘叠放在一起，则请将料盘的高度降低即移除料盘。2. 如果邻接子站位处的料盘是
Job 中用到的料盘，则请换成其他站位。如果料盘叠放在一起，则请将料盘的高度降低即
移除料盘。
</remedy>
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</code>
<code id="8FE00000">
<disp>内部处理异常( 确认料站的匹配性 )</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>系统内部发生了处理异常。
( 补充编码 )</cause>
<remedy>对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，随操作步骤一起与敝公司 Support
联系。为了重新开始运转请重新接通主电源。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8FE10000">
<disp>将吸取开始点变更成了料盘原点</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>由于机器中记忆的吸取开始点位于 Job 中指定的行·列以外的位置，因此将吸取
开始点设定成了料盘原点。
( 补充编码 )</cause>
<remedy>设定了比前次生产所使用的料盘还要小的料盘时，防止前次生产的吸取点超出
料盘。
该异常解除后，想要变更吸取开始点时，
没有使用料盘验证时：请通过附加软件或者在机器上重新设定吸取开始点。
使用料盘验证时：请通过 KIT Handy
重新设定吸取开始点。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8FF00000">
<disp>内部处理异常(相邻模组位置测定)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>系统内发生了处理异常。(补充编码)</cause>
<remedy>请取得错误发生时的跟踪数据与错误发生时的操作步骤，并联系代理店或客服
中心。为了重新开始运转，请重新接通总电源开关。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8FF10000">
<disp>预想外的异常。</disp>