Fuji errorcode - 第4301页

( 补充编码 )</cau se> <remedy > 对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，随操作步骤一起与敝公司 Support 联系。为了重新开始运转请重新接通主电源。 < /remedy> <img /> </code> <code id="8FE 10000"> <disp> 将吸取开始点变更成了料盘原点 …

3．使用方孔型的晶圆环的特殊接合片时，必须输入此值。不使用晶圆夹环时，请将 Job

的[Package Data] - [Package Information] - [Grip Ring Height]设定为 0。不需要高的吸取面

时，请设定 Job 的[Shape Data] - [Shape Process] - [Die] - [PressurePin] - [Push Up Pot Height

Offset]。</remedy>

<img />

</code>

<disp>邻接子站位料盘状态异常</disp>

<cause>NXTR：在邻接子站位处发生了异常。推测原因如下。1. 邻接子站位处的料盘太

高。2. 在邻接子站位处料盘可能会与吸嘴发生干涉。(补充编码)

</cause>

<remedy>NXTR：1. 如果邻接子站位处的料盘是 Job 中未使用的料盘，则请移除料盘。如

果料盘叠放在一起，则请将料盘的高度降低即移除料盘。2. 如果邻接子站位处的料盘是

Job 中用到的料盘，则请换成其他站位。如果料盘叠放在一起，则请将料盘的高度降低即

移除料盘。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>内部处理异常( 确认料站的匹配性 )</disp>

<cause>系统内部发生了处理异常。

( 补充编码 )</cause>

<remedy>对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，随操作步骤一起与敝公司 Support

联系。为了重新开始运转请重新接通主电源。</remedy>

<img />

</code>

<disp>将吸取开始点变更成了料盘原点</disp>

<cause>由于机器中记忆的吸取开始点位于 Job 中指定的行·列以外的位置，因此将吸取

开始点设定成了料盘原点。

( 补充编码 )</cause>

<remedy>设定了比前次生产所使用的料盘还要小的料盘时，防止前次生产的吸取点超出

料盘。

该异常解除后，想要变更吸取开始点时，

没有使用料盘验证时：请通过附加软件或者在机器上重新设定吸取开始点。

使用料盘验证时：请通过 KIT Handy

重新设定吸取开始点。</remedy>

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</code>

<disp>内部处理异常(相邻模组位置测定)</disp>

<cause>系统内发生了处理异常。(补充编码)</cause>

<remedy>请取得错误发生时的跟踪数据与错误发生时的操作步骤，并联系代理店或客服

中心。为了重新开始运转，请重新接通总电源开关。</remedy>

<img />

</code>

<disp>预想外的异常。</disp>

<cause>种类取得、标记确认、固有值取得、设定等异常(补充编码面向研发者的编

码)</cause>

<remedy>请收集出错时的追溯数据并联系售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>XY 机械手异常</disp>

<cause>·伺服异常

·XS 位置异常

( 补充编码单元中设定的补充编码 )</cause>

<remedy>请参考单元错误编码解决</remedy>

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</code>

<disp>影像处理装置异常</disp>

<cause>·影像处理装置的版本不一致

·影像处理装置的准备拍摄指示

·影像处理装置的拍摄指示

·影像处理装置的等待曝光结束

·影像处理装置的吸嘴环境数据的生成

·影像处理装置的吸嘴影像处理指示

( 补充编码影像处理装置的错误编码 )</cause>

<remedy>(1)请确认触发电路、影像处理电路板、版本是否一致。

(2)对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司 Support 联系。</remedy>

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