Fuji errorcode - 第568页

<img /> </code> <code id="8 0003919"> <disp>MWU1 2i 的料盘箱门处于敞开状态 </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>N XT-H ：由于 MWU12i 的料盘箱门处于敞开状态，所以无法启动生产 ( 补充编码 ) 。 </cause…

<disp>发生了Ｚ轴高度联锁</disp>

<cause>[ 异常监视 ] 在Ｚ轴下降状态下想要进行 X,Y,XS 和 R 轴的动作。因为存在吸嘴折

断的可能性而停止了。

( 补充编码 )</cause>

<remedy>１．请确认吸嘴有无破损。

２．对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司 Support 联系。

３．按下 ReadyOn 后，请再次开始。</remedy>

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</code>

<disp>Y 轴联锁异常</disp>

<cause>[ 异常监视 ] Y 轴联锁确认传感器进行了检测。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>请将机械手向 Y 方向离开。

因为在工作头为干涉状态下移动时有损坏的危险，首先将工作头向 X 方向离开后再向 Y 方

向离开。</remedy>

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</code>

<disp>Y 轴联锁异常</disp>

<cause>[ 异常监视 ] 轴动作中 Y 轴联锁确认传感器进行了检测。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>请将机械手向 Y 方向离开。

因为在工作头为干涉状态下移动时有损坏的危险，首先将工作头向 X 方向离开后再向 Y 方

向离开。</remedy>

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</code>

<disp>MWU12i 的料盘箱门处于敞开状态</disp>

<cause>NXT-H：由于 MWU12i 的料盘箱门处于敞开状态，所以无法启动生产( 补充编

码)。</cause>

<remedy>NXT-H：请关闭 MWU12i 的料盘箱门。</remedy>

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<disp>MWU12i 的滑动式盖罩安装不良。</disp>

<cause>NXT-H：由于 MWU12i 的滑动式盖罩安装不良，因此无法启动生产( 补充编码)。

</cause>

<remedy>NXT-H：请正确安装 MWU12i 的滑动式盖罩。</remedy>

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<disp>MWU12i 的 tower slide 处于敞开状态 </disp>

<cause>NXT-H：由于 MWU12i 的 tower slide 处于敞开状态，所以无法启动生产( 补充编

码)。</cause>

<remedy>NXT-H：请关闭 MWU12i 的 tower slide。</remedy>

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</code>

<disp>吸嘴置放台安装不良。</disp>

<cause>NXT-H：由于吸嘴置放台安装不良，所以无法启动生产( 补充编码)。</cause>

<remedy>NXT-H：请正确安装吸嘴置放台。</remedy>

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<disp>基座 CPU 箱温度异常</disp>

<cause>NXT：基座 CPU 箱的温度超出其正常工作的范围。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请确认基座冷却风扇是否工作正常（关于详细内容，请参考 NXTⅢ机械

手册中的「7.16 更换冷却风扇」章节）如果冷却风扇工作正常，则请更换 CPU 箱。

</remedy>

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<disp>模组 CPU 箱温度异常</disp>

<cause>NXT：模组 CPU 箱的温度超出其正常工作的范围。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请确认模组冷却风扇是否工作正常（关于详细内容，请参考 NXTⅢ机械

手册中的「7.16 更换冷却风扇」章节）另外，请清洁模组内的过滤器（关于详细内容，请

参考 NXTⅢ机械手册中的「5.7.4 模组内过滤器的清扫」章节）如果采取以上措施之后还是

无法消除温度异常，则请更换 CPU 箱。

</remedy>

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<disp>请搭载尺寸与料站数合理的晶圆箱</disp>