KE-1070_80_Operation_Manual2_Rev01_C2.pdf - 第338页

操作手册Ⅱ 5-5 (1) 管道系统图(主机) Cell block A B P R A B A B ATC ) θ12 󱛠󲸢󱡶 󳏓󱚐  󲔽 󰁺 C V S φ 6 ST=30 󰁧 󲨉󰼜 󰣩󱰍   󰣩󱰍   󲲳󰁺 󰣩󱰍  󰣩󱰍  󲲳󰁺 󱮴󰀷 󱮴�…

操作手册Ⅱ

5-4

1) 请确认没有漏气

1) 主机接通电源后，请选择「手动控制」项目，检查下列各项目的动作状况。

① 基板挡销部

② 夹杆 X、夹杆 Y

③ ATC 单元

④ VCS（附有选项时）

□

手动控制 □

在确认各项动作、检查传感器的开／关情况时，执行手动控制模式。

有关手动控制的详细内容，请参见「第 9 章手动控制」。

2) 如若动作有问题，请参考下页「管道系统图」进行检查。

检查项目

5-2-3 管道及接头

实施频度：每周

检查内容检查气压管道部分是否漏气

检查项目

5-2-4 各单元汽缸

实施频度：每周

检查内容检查各汽缸的动作

󰖕󰒺󰯤󰣩

＜右側面奥側＞

フィンガバルブ

󰫆

󳇕󳋕

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操作手册Ⅱ

5-5

(1) 管道系统图(主机)

Cell block

ATC

)

θ12

󱛠󲸢󱡶

󳏓󱚐

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CVS

φ6 ST=30

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󱈊󱖖󳋕󱍙󰁺

󲳖󲒏󱮔󱡶

AE/E 󳋕

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󲲜󰮹 󲣘󱽗

󲳞󳕎

󲳞󳕎



󲳞󳕎

θ6

θ8

θ6

θ4

操作手册Ⅱ

5-6

(2)管道系统图(贴片头)

Blow-Sw

φ8

Vac-Sw

エジェクタ

フィルタ

圧力センサ

ノズル

(3)管道系统图(统一更换台，4处通用)

φ6

ローラレバー

セレクタ

パイロットチェック弁

φ6

󰧊

φ

󲲜󰮹





󲣘󲣥󰊠󳆃

󰖕󰒺󳋕

φ

󰮯󱠧󰐛

φ