SI-F130AI_1st_CS - 第192页
操作篇 5. 手动操作 5-22 SI-F130AI (3) 微調動作移動 ( 微调动作移 动 ) （轨道宽度） 軌道寬度 調整 ( ) 图 5.2. 1.7-2 軌道寬度 調整 ( 轨道宽度调 整 ) 画面 [1] 指定移 动速度。 2 1 …
操作篇
5. 手动操作
SI-F130AI
5-21
(1) 絕對座標移動 ( 绝对坐标移动 ) （轨道宽度）
軌道寬度絕對位置 ( ) ,
START
轨道移动中，按操作面板的
STOP
钮时，立即停止。再次按
START
钮时，再开始移动至目
标位置。但是，使用手动控制器移动轴时，按
STOP
键停止移动后，若不再次设定目标位置，
则即使按
START
钮亦不移动，故需要注意。
(2) 相對座標移動 ( 相对坐标移动 ) （轨道宽度）
START
(+) (-)
轨道移动中，按操作面板的
STOP
钮时，立即停止。再次按
START
钮时，再开始移动至目
标位置。
注意 :
注意 :
操作篇
5. 手动操作
5-22
SI-F130AI
(3)
微調動作移動 ( 微调动作移动 ) （轨道宽度）
軌道寬度調整 ( )
图
5.2.1.7-2
軌道寬度調整
(
轨道宽度调整
)
画面
[1] 指定移动速度。
2
1 SHIFT
2 高速 ( ) 低速 ( )
高速 ( ) / 低速 ( )
前门或后门中任一门打开
或互锁开关关闭时
,
为了安全
,
无法选择
高速
(
高速
)
。
[2] 按键盘的游标 （ ↑ ↓ ）
提示
1 ( )
注意 :
操作篇
5. 手动操作
SI-F130AI
5-23
5.2.1.8 基板搬送状态的表示
·关于轨道皮带的表示颜色：
·关于各按钮的文字颜色：
·关于固定板、基准针、停止器、夹板的表示颜色：
·关于安装在轨道上的下述传感器开关状态的表示：
LED
基板搬入传感器
基板搬出传感器
基板待机传感器
基板确认传感器
基板有无传感器
基板确认通过传感器