SI-F130AI_1st_CS - 第194页
操作篇 5. 手动操作 5-24 SI-F130AI 5.2.1. 9 排出器的移动 手動操作 ( ) 基板搬送 ( ) 排出器移動 ( ) 排出器移動 ( …
操作篇
5. 手动操作
SI-F130AI
5-23
5.2.1.8 基板搬送状态的表示
·关于轨道皮带的表示颜色：
·关于各按钮的文字颜色：
·关于固定板、基准针、停止器、夹板的表示颜色：
·关于安装在轨道上的下述传感器开关状态的表示：
LED
基板搬入传感器
基板搬出传感器
基板待机传感器
基板确认传感器
基板有无传感器
基板确认通过传感器
操作篇
5. 手动操作
5-24
SI-F130AI
5.2.1.9
排出器的移动
手動操作 ( ) 基板搬送 ( )
排出器移動 ( ) 排出器移動 ( )
图
5.2.1.9-1
排出器移動
(
排出器移动
)
画面
ORG
排出器移動 ( ) 絕對座標移動 ( )
相對座標移動 ( ) 微調動作移動 ( )
·所谓
絕對座標移動
(
绝对坐标移动
)
是将排出器的基准点设为原点，由原点移动至表示的目
标
,
现在位置无论在何处，都可移动至目标。
·所谓
相對座標移動
(
相对坐标移动
)
是将现在的设为起点，只移动指定的值。即使相同移动
值，若改变现在时，所得到轨道也不相同。
·所谓
微調動作移動
(
微调动作移动
)
是使用游标执行移动，按游标并立即放开时会立即微
动，连续按时
,
则连续移动。
·
排出器絕對位置
(
排出器绝对位置
)
的文本框中，只能输入数值，无法变更排出器。
依右项顺序按
START
钮，执行排出器移动。
注意 :
操作篇
5. 手动操作
SI-F130AI
5-25
(1) 絕對座標移動 ( 绝对坐标移动 ) （排出器）
排出器絕對位置 ( )
START
·在移动排出器中，如果按操作面板的
STOP
钮，立即停止。如果再次按
START
钮，就再次开
始移动到目标位置。但是，使用手动控制器移动轴时，按
STOP
键停止移动后，若不再次设定
目标位置，即使按下
START
，亦不移动排出器，故需要注意。
(2) 相對座標移動 ( 相对坐标移动 ) （排出器）
START
·在排出器移动中，如果按操作面板的
STOP
钮，立即停止。如果再次按
START
钮，就再次
开始移动至目标位置。
(3) 微調動作移動 ( 微调动作移动 ) （排出器）
排出器移動 ( )
图
5.2.1.9-2
排出器移動
(
排出器移动
)
画面
注意 :
注意 :