SI-F130AI_1st_CS - 第195页
操作篇 5. 手动操作 SI-F130AI 5-25 (1) 絕對座標移動 ( 绝对坐标移 动 ) （ 排出器） 排出器絕對位置 ( ) ST AR T · 在移动排出器中 ，如果按操作面板的 ST OP 钮，立即停 止。如果再次按 ST AR T 钮，就再次 开 始移动到…
操作篇
5. 手动操作
5-24
SI-F130AI
5.2.1.9
排出器的移动
手動操作 ( ) 基板搬送 ( )
排出器移動 ( ) 排出器移動 ( )
图
5.2.1.9-1
排出器移動
(
排出器移动
)
画面
ORG
排出器移動 ( ) 絕對座標移動 ( )
相對座標移動 ( ) 微調動作移動 ( )
·所谓
絕對座標移動
(
绝对坐标移动
)
是将排出器的基准点设为原点，由原点移动至表示的目
标
,
现在位置无论在何处，都可移动至目标。
·所谓
相對座標移動
(
相对坐标移动
)
是将现在的设为起点，只移动指定的值。即使相同移动
值，若改变现在时，所得到轨道也不相同。
·所谓
微調動作移動
(
微调动作移动
)
是使用游标执行移动，按游标并立即放开时会立即微
动，连续按时
,
则连续移动。
·
排出器絕對位置
(
排出器绝对位置
)
的文本框中，只能输入数值，无法变更排出器。
依右项顺序按
START
钮，执行排出器移动。
注意 :
操作篇
5. 手动操作
SI-F130AI
5-25
(1) 絕對座標移動 ( 绝对坐标移动 ) （排出器）
排出器絕對位置 ( )
START
·在移动排出器中，如果按操作面板的
STOP
钮，立即停止。如果再次按
START
钮，就再次开
始移动到目标位置。但是，使用手动控制器移动轴时，按
STOP
键停止移动后，若不再次设定
目标位置，即使按下
START
，亦不移动排出器，故需要注意。
(2) 相對座標移動 ( 相对坐标移动 ) （排出器）
START
·在排出器移动中，如果按操作面板的
STOP
钮，立即停止。如果再次按
START
钮，就再次
开始移动至目标位置。
(3) 微調動作移動 ( 微调动作移动 ) （排出器）
排出器移動 ( )
图
5.2.1.9-2
排出器移動
(
排出器移动
)
画面
注意 :
注意 :
操作篇
5. 手动操作
5-26
SI-F130AI
[1] 指定移动速度。
2
1 SHIFT
2 高速 ( ) 低速 ( )
高速 ( ) / 低速 ( )
前门或后门中任一个门打开，时或者互锁开关关闭时，为了安全，不能选择
高速
(
高速
)
。
[2] 请按键盘的游标键 （ ← → ）
→
提示
5.2.1.10 排出器的操作 （上升 / 下降）
使排出器针上升时
排出器上昇 ( )
使排出器针下降时
排出器下降 ( )
提示
注意 :