SI-F130AI_1st_CS - 第197页
操作篇 5. 手动操作 SI-F130AI 5-27 5.2.2 基板操作 ( ) 5.2.2. 1 基板定位操 作 [ 概要 ] ( ) : : �…
操作篇
5. 手动操作
5-26
SI-F130AI
[1] 指定移动速度。
2
1 SHIFT
2 高速 ( ) 低速 ( )
高速 ( ) / 低速 ( )
前门或后门中任一个门打开，时或者互锁开关关闭时，为了安全，不能选择
高速
(
高速
)
。
[2] 请按键盘的游标键 （ ← → ）
→
提示
5.2.1.10 排出器的操作 （上升 / 下降）
使排出器针上升时
排出器上昇 ( )
使排出器针下降时
排出器下降 ( )
提示
注意 :
操作篇
5. 手动操作
SI-F130AI
5-27
5.2.2 基板操作
( )
5.2.2.1 基板定位操作
[ 概要 ]
( )
:
:
[ 操作顺序 ]
手動操作 ( ) 基板搬送 ( ) 基板搬送
(
)
图
5.2.2.1
手動操作－ 基板搬送
(
手动操作－ 基板搬送
)
操作
基板定位时
基板操作 ( ) 位置設定 ( )
解除基板定位时
基板操作 ( ) 解除 ( )
操作篇
5. 手动操作
5-28
SI-F130AI
5.2.2.2
基板搬入·搬出的操作
[ 概要 ]
[ 操作顺序 ]
手動操作 ( ) 基板搬送 ( ) 基板搬送
(
)
图
5.2.2.2
手動操作－ 基板搬送
(
手动操作－ 基板搬送
)
画面
要执行基板搬入操作
基板操作 ( ) 搬入 ( )
要执行基板搬出操作
基板操作 ( ) 搬出 ( )