SI-F130AI_1st_CS - 第198页
操作篇 5. 手动操作 5-28 SI-F130AI 5.2.2. 2 基板搬入·搬出的操作 [ 概要 ] [ 操作顺序 ] 手動操作 (…
操作篇
5. 手动操作
SI-F130AI
5-27
5.2.2 基板操作
( )
5.2.2.1 基板定位操作
[ 概要 ]
( )
:
:
[ 操作顺序 ]
手動操作 ( ) 基板搬送 ( ) 基板搬送
(
)
图
5.2.2.1
手動操作－ 基板搬送
(
手动操作－ 基板搬送
)
操作
基板定位时
基板操作 ( ) 位置設定 ( )
解除基板定位时
基板操作 ( ) 解除 ( )
操作篇
5. 手动操作
5-28
SI-F130AI
5.2.2.2
基板搬入·搬出的操作
[ 概要 ]
[ 操作顺序 ]
手動操作 ( ) 基板搬送 ( ) 基板搬送
(
)
图
5.2.2.2
手動操作－ 基板搬送
(
手动操作－ 基板搬送
)
画面
要执行基板搬入操作
基板操作 ( ) 搬入 ( )
要执行基板搬出操作
基板操作 ( ) 搬出 ( )
操作篇
5. 手动操作
SI-F130AI
5-29
5.3 输入 / 输出信号的显示
SI-F130AI
关于输入
/
输出信号的明细情况，请参照
[
保养篇
3.
输入以及输出信号表
]
。
5.3.1 输入信号的状态表示
[ 概要 ]
SI-F130AI SI-
F130AI
[ 操作顺序 ]
手動操作 ( ) 輸出 / 輸入 ( / ) 輸入 ( )
, 信號名稱 / 狀態 ( / )
图
5.3.1
手動操作－ 輸 入 / 輸 出
(
手动操作－ 输入
/
输出
)
画面
序列輸入 / 輸出 ( / ) SY-MC 輸入 / 輸出 (SY-MC / )
裝置號碼 ( )
[ 輸入 / 輸出 ( 输入 / 输出 ) 画面说明 ]
16 LED
HIGH ON LOW OFF
: HIGH ON
: LOW OFF
LOW/HIGH 2 HIGH ON LOW OFF
注意 :