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保养篇 2. 维修检查 SI-F130AI 2-11 每周 (3) 各传感器投受光面的 清理 [ 作业功能 ] 基板搬送输送带由于 常与基板发生摩擦从 而产生灰尘。所以要 定期清理光学传感器 。 [ 维修检查位置 ] 基板搬送输送带上根 据用途不同带有 8 个基板检出传感器 。 需要对各传感器投受 光面进行清理。 [ 维修检查时要准 备的物品 ] 干净抹布 [ 作业顺序 ] 用干净抹布对各传感 器投受光面上附着的 灰尘、脏物进行清理 。…
保养篇
2. 维修检查
2-10
SI-F130AI
每周
(2) 输送带导向器的基板摩擦面检查
[ 作业功能 ]
基板搬送的导向器面上如果附着焊剂等异物，就会妨碍基板搬送的顺利进行。需要定期进行检
查·清理。
[ 维修检查位置 ]
搬入侧·搬出侧基板搬送输送带部分的搬送导轨的基板行进面
[ 维修检查时要准备的物品 ]
干净抹布
[
作业顺序 ]
检查搬入侧·搬出侧基板搬送输送带部分的搬送导轨的基板行进面是否附着有焊剂等异物。根据
需要进行清理。
基板行进面
搬送导轨
基板
保养篇
2. 维修检查
SI-F130AI
2-11
每周
(3) 各传感器投受光面的清理
[ 作业功能 ]
基板搬送输送带由于常与基板发生摩擦从而产生灰尘。所以要定期清理光学传感器。
[ 维修检查位置 ]
基板搬送输送带上根据用途不同带有 8 个基板检出传感器。
需要对各传感器投受光面进行清理。
[ 维修检查时要准备的物品 ]
干净抹布
[ 作业顺序 ]
用干净抹布对各传感器投受光面上附着的灰尘、脏物进行清理。
右流向规格 左流向规格
1
基板搬出传感器 基板搬入传感器
2
基板减速传感器 －
3
基板通过确认传感器 基板待机传感器
4
基板确认传感器 基板确认传感器
5
基板有无传感器 基板有无传感器
6
基板待机传感器 基板通过确认传感器
7
－ 基板减速传感器
8
基板搬入传感器 基板搬出传感器
右流向
前面侧
左流向
保养篇
2. 维修检查
2-12
SI-F130AI
每周
(4) 基板搬送输送带的搬送皮带滑轮的检查
[ 作业功能 ]
输送带的搬送皮带滑轮的旋转如果不顺畅，就会对搬送皮带造成异常磨损。由于需要滑轮旋转顺
畅，所以定期对皮带滑轮进行检查。
[ 维修检查位置 ]
搬入侧·搬出侧输送带的搬送皮带滑轮 ( 总计 17 个 )
[
维修检查时要准备的物品 ]
润滑油： 多用润滑油 ( 美国 Wynn Oil Company 制 ) 、干净抹布
[ 作业顺序 ]
驱动搬入侧·搬出侧输送带，在搬送皮带旋转时确认滑轮是否旋转顺畅。
如果旋转不顺畅，用润滑油对轴承进行润滑。此时，请注意不要让多余润滑油滴到机械内。如果
润滑油滴到机械内，立即用干净抹布擦除。
用润滑油进行润滑之后，旋转如果仍然不顺畅，请进行更换。
皮带滑轮 ( 可动部 )
用润滑油进行润滑
滑轮