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保养篇 2. 维修检查 2-42 SI-F130AI 每 3 个月 (16) 基板搬送输送带宽度调整部的直 线型导向器的清理 [ 作业功能 ] 基板搬送输送带宽度 调整部的直线型导向 器上如果附着异物， 有可能无法进行轨道 宽度调整， 所以必须要定期对直 线型导向器进行清理 。 [ 维修检查位置 ] 基板搬送输送带宽度 调整部的直线型导向 器 [ 维修检查时要准备 的物品 ] 润滑油： AFC 润滑油 (THK 制 ) 、干净抹布 [ …
保养篇
2. 维修检查
SI-F130AI
2-41
每 3 个月
(15) 基板搬送输送带宽度调整用台形螺丝的清理
[ 作业功能 ]
基板搬送输送带宽度调整用台形螺丝上如果有异物，就有可能无法正常调整轨道宽度，所以要
定期对螺丝进行清理。
[ 维修检查位置 ]
搬入侧·搬出侧基板搬送输送带宽度调整用台形螺丝
[ 维修检查时要准备的物品 ]
润滑油：AFC 润滑油 (THK 制 ) 、干净抹布
[ 作业顺序 ]
检查基板搬送输送带轨道宽度调整用台形螺丝上是否附着有小零件和其它异物。如果有异物，
用竹签等软棍去除。
根据需要进行清理并薄薄地涂上润滑油。
如果残留多余润滑油，附着在基板和零件上导致产品质量问题，所以一定要擦除多余润滑油。
台形螺柱
注意 :
保养篇
2. 维修检查
2-42
SI-F130AI
每 3 个月
(16) 基板搬送输送带宽度调整部的直线型导向器的清理
[ 作业功能 ]
基板搬送输送带宽度调整部的直线型导向器上如果附着异物，有可能无法进行轨道宽度调整，
所以必须要定期对直线型导向器进行清理。
[ 维修检查位置 ]
基板搬送输送带宽度调整部的直线型导向器
[ 维修检查时要准备的物品 ]
润滑油：AFC 润滑油 (THK 制 ) 、干净抹布
[ 作业顺序 ]
检查基板搬送输送带轨道宽度调整部的直线型导向器上是否附着有异物。如果有异物，用干净
抹布等去除。然后进行清理并薄薄地涂上润滑油。多余润滑油要用干净抹布擦掉。
如果残留多余润滑油，附着在基板和零件上导致产品质量问题，所以一定要擦除多余润滑油。
直线型导向器
直线型导向器
注意 :
保养篇
2. 维修检查
SI-F130AI
2-43
每 3 个月
(17) 基板搬送输送带排出器的直线型导向器的清理
[ 作业功能 ]
如果基板搬送输送带排出器的直线型导向器上附着有异物，有可能无法正常进行基板搬送，所
以要定期对直线型导向器进行清理。
[ 维修检查位置 ]
基板搬送输送带排出器直线型导向器
[ 维修检查时要准备的物品 ]
润滑油：AFC 润滑油 (THK 制 ) 、干净抹布
[ 作业顺序 ]
检查基板搬送输送带皮带排出器的直线型导向器上是否有异物。如果有异物，用干净抹布等去
除。然后进行清理并薄薄地涂上润滑油。多余润滑油要用干净抹布擦掉。
如果残留多余润滑油，附着在基板和零件上导致产品质量问题，所以一定要擦除多余润滑油。
直线型导向器
注意 :