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保养篇 2. 维修检查 SI-F130AI 2-51 每 3 个月 (25) 空气 过滤器清理 ( 下部过滤器 ) [ 作业功能 ] 在 SI-F130AI 中，需要强制冷却的 PC 装置在机械下部，另外， 服务器装置在机械的 上部。 这些装置出于安 全方面考虑是通过遮 盖物与外部隔离。为 了抑制这些装置温度 上升，使用风扇 进行常时强制冷 却。 如果过滤器发生 堵塞就无法进行充分 冷却，可能会导致异 常动作。请结合使用 环境定期对过滤…
保养篇
2. 维修检查
2-50
SI-F130AI
每 3 个月
(24) 空气过滤器清理 ( 上部过滤器 )
[
作业功能 ]
在 SI-F130AI 中，需要强制冷却的 PC 装置在机械下部，另外，服务器装置在机械的上部。
这些装置出于安全方面考虑，通过遮盖物与外部隔离。为了抑制这些装置温度上升，使用风扇
进行常时强制冷却。
如果过滤器发生堵塞，就无法进行充分冷却，可能会导致异常动作。请结合使用环境定期对过
滤器进行清理。
[ 作业顺序 ]
1.
为了安全起见，请停止机械并将电源设置为 OFF 之后再开始作业。
2. 请卸下 4 处安装螺丝。
3. 卸下盖子后 , 会看见过滤器。
4. 当过滤器堵塞比较严重时，请用新过滤器交换它。堵塞较少时，请去掉其表面脏物，重新使用。
5. 按照与检查步骤相反的顺序进行安装，确认作业完成之后开启机械电源。
安装螺丝安装螺丝
过滤器
盖子
保养篇
2. 维修检查
SI-F130AI
2-51
每 3 个月
(25) 空气过滤器清理 ( 下部过滤器 )
[
作业功能 ]
在 SI-F130AI 中，需要强制冷却的 PC 装置在机械下部，另外，服务器装置在机械的上部。
这些装置出于安全方面考虑是通过遮盖物与外部隔离。为了抑制这些装置温度上升，使用风扇
进行常时强制冷却。
如果过滤器发生堵塞就无法进行充分冷却，可能会导致异常动作。请结合使用环境定期对过滤
器进行清理。
[ 作业顺序 ]
1.
为了安全起见，请停止机械并将电源设置为 OFF 之后再开始作业。
2. 下部过滤器在机械后部。有 3 处冷却风扇，请分别取下各自的安装螺丝。
3. 卸下盖子后，会看见过滤器。
4. 当过滤器堵塞比较严重时，请用新过滤器交换它。堵塞较少时，请去掉其表面脏物，重新使用。
5. 按照与检查步骤相反的顺序进行安装，确认作业完成之后开启机械电源。
安装螺丝
过滤器
保养篇
2. 维修检查
2-52
SI-F130AI
2.5 每 6 个月一次的维修·检查
每 6 个月的生产结束后，每天·每周的检查、每 2 周、每 1 个月、每 3 个月的维修、检查之外，还
要进行以下维修检查作业。
在进行检查作业之前，
SI-F130AI
电源关闭后，一定要将工厂总电源线缆的原始电源关闭。
如果原始电源处于开启状态下进行检查作业，会发生意想不到的危险，其结果可能会引起人员
的受伤甚至死亡。
每 6 个月
(1) 基板搬送排出器皮带的检查
[ 作业功能 ]
基板搬送排出器皮带高速搬送基板。该正时皮带出现异常会对基板搬送造成很大影响，要进行定
期检查。
[ 维修检查位置 ]
基板搬送排出器皮带
[ 维修检查时要准备的物品 ]
无需特意准备
[ 作业顺序 ]
检查正时皮带上是否有异常磨损·裂隙。有异常情况下，请委托我公司服务负责人进行更换。
基板搬送排出器皮带
警告 :
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