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保养篇 2. 维修检查 SI-F130AI 2-81 (2) 基板搬送轨道皮带的 更换、张力的调整方 法 i) 装着轨道驱动 皮带 ( 移动、 固定侧 ) [ 作业顺序 ] 1. 旋松 2 处固定张力 滑轮板的螺丝。 2. 更换皮带 时更换皮带。 3. 反复确认 将皮带安装到了滑轮 沟里，将张力滑轮板 滑动到上侧，加适当张力将 固定螺丝拧 紧。 适当张力的标准是 : 用手按，会因弹力 而迸开。 张 力滑轮板
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2. 维修检查
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8.
弹簧
轴承托架
ASSY
活塞
中心旋转轴
的顺序装配。
9. 在螺丝部涂上低强度的乐泰胶粘剂 , 并装配停止器螺丝。
粘合剂请使用低强度类型。
乐泰
No.211
10.
用棉棒沾上机油，从里面的孔开始涂抹到活塞上。
向活塞 ASSY 各部位①～⑥少量地
涂上多用
润滑油。
①② ③
④⑤ ⑥
全面涂抹部位是禁止
附着润滑油的区域。
从活塞孔开始涂
注意 :
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(2) 基板搬送轨道皮带的更换、张力的调整方法
i) 装着轨道驱动皮带 ( 移动、固定侧 )
[
作业顺序 ]
1.
旋松 2 处固定张力滑轮板的螺丝。
2. 更换皮带时更换皮带。
3. 反复确认将皮带安装到了滑轮沟里，将张力滑轮板滑动到上侧，加适当张力将固定螺丝拧
紧。
适当张力的标准是
: 用手按，会因弹力而迸开。
张力滑轮板
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ii
）搬出搬入 C/V 皮带 ( 移动、固定侧 )
[
作业顺序 ]
1.
用前端有大 的螺丝刀，旋松张力滑轮。
2. 皮带交换时交换皮带。
3. 反复确认皮带安装到了滑轮沟里，移动张力滑轮加适当张力，拧紧张力滑轮。
iii）装着轨道皮带 ( 移动、固定侧 )
[
作业顺序 ]
1.
旋松 2 处张力板的固定螺丝。
2. 交换皮带时更换皮带。
3. 盖上张力板，加适当张力拧紧张力板固定螺丝。
4. 这时， ii) 所说明的搬入搬出 C/V 皮带的张力的松弛，一定按 ii) 的要领适当调整搬入搬出
C/V 皮带的张力。
张力滑轮
放松侧
拉紧侧
装着输送皮带
张力板
搬出搬入
C/V 皮带