SI-F130AI_1st_CS - 第585页
调试篇 1. 安装 SI-F130AI 1-5 3. X Y 0.05 (1 0.02 2 1 0.05 1 ) 锁定用螺母 下降 扳手 脚 上升 脚的六角螺母部分
调试篇
1. 安装
1-4
SI-F130AI
1.3 SI-F130AI 的设置
(1) 基板搬送面和搬送高度的调整
[ 调整功能 ]
SI-F130AI
SI-F130AI
(1) SI-F130AI
(2) 900+30/-10mm
[
调整顺序 ]
1.
X Y
2. SI-F130AI SI-F130AI
4 SI-F130AI SI-
F130AI
脚高度调整用六角螺母的
2
面宽度是
46mm
。
前面
水准器
注意 :
调试篇
1. 安装
SI-F130AI
1-5
3. X Y 0.05 (1 0.02 2 1
0.05 1 )
锁定用螺母 下降
扳手
脚
上升
脚的六角螺母部分
调试篇
1. 安装
1-6
SI-F130AI
1.4 固定托架的拆卸
[ 作业功能 ]
XY XY
若不将固定可动部件用托架全部拆除，有导致机械破损、人身事故的危险。
[ 准备的物品 ]
[ 作业顺序 ]
(1)
拆卸固定用托架
Y 4
六角有孔螺栓
支柱
固定用托架
警告 :
!