SI-F130AI_1st_CS - 第59页
操作篇 2. 系统操作 SI-F130AI 2-1 2. 系统操作 2.1 上电前注意事项 2.1.1 关于电源的注意事项 ·电源工 作前注意事项 将工厂侧 总电源电缆连接到 SI-F 130AI 前，请一 定要关闭工厂侧总电源 电缆的主电源。若在 主电源打 开状态下将工厂侧总 电源电缆接到 SI-F1 30AI 上，会引 起意想不到的危险， 结果将 会导致严 重受伤甚至死亡。 ·总电源 规格 总电源规 格如下所示。请不要 使用其它规格…
操作篇
1. 系统概要
1-22
SI-F130AI
1.8 SI-F130AI 的外形尺寸图
( 单位 :mm)
1400
1202
9
1220
(136)
980420
1031
890
1490
(1780)
(1545)
9
(1860)
(1434)
900
+10
-10
( 基板搬送高度 )
操作篇
2. 系统操作
SI-F130AI
2-1
2. 系统操作
2.1 上电前注意事项
2.1.1 关于电源的注意事项
·电源工作前注意事项
将工厂侧总电源电缆连接到
SI-F130AI
前，请一定要关闭工厂侧总电源电缆的主电源。若在
主电源打开状态下将工厂侧总电源电缆接到
SI-F130AI
上，会引起意想不到的危险，结果将
会导致严重受伤甚至死亡。
·总电源规格
总电源规格如下所示。请不要使用其它规格的电源，否则会引起意想不到的危险，结果将会导
致严重受伤甚至死亡。
三相
200V
±
10% 50/60 Hz
、
15A
·关于工厂侧总电源电缆
工厂侧总电源电缆，请使用
4
芯
AWG14
或者比其更粗的橡胶绝缘电缆。使用细电缆，将引
起意想不到的危险，其结果可能发生火灾等事故。
·关于总电源电缆端子
工厂侧总电源电缆的电线端部，请安装和电线形状相应圆形的夹紧端子。使用裸电线或者其它
形状端子，电线很容易从端子接头漏出，会引起意想不到的危险，其结果，将发生火灾或触电
等事故，甚至导致严重受伤或死亡。
·关于接地工作
请将工厂侧总电源电缆按照有关电气设备规定的
D
型安全接地
(
接地阻抗
100
欧姆以下
)
接
地。不完全接地不仅引起机器误运作，还会发生火灾和触电等事故，结果将会导致严重受伤甚
至死亡。
关于电源相位顺序
(1)
有相位顺序限制。请按以下步骤检查。
暂时接通电源，使真空泵用断路器
ON
。
·
若短时间内真空压上升，相位顺序正确
。
请马上使电源
OFF
，进行下一项工作。
·
若短时间内真空压不上升，相位顺序错误。请马上使电源
OFF
，而且，请使工厂电源
OFF
。
请将工厂侧总电源电缆的三相电源线内部
2
根交替连接。
(2)
请按照以上所述缩短相位顺序检查工作中上电时间。
警告 :
!
注意 :
操作篇
2. 系统操作
2-2
SI-F130AI
·关于干扰的对策
SI-F130AI
控制体系是微型计算机控制方式。对于混入电源的干扰或者波等有必要进行严格
处理。
SI-F130AI
设置前，请认真检查工厂内电源环境。
·发生混入干扰和电源波时的对策方法。
1
改变电源供给线。
2
使用
AVR (
恒定电压电源
)
。
3
请在电源线和机体之间放置干扰过滤器。
2.1.2 关于空气压力的注意事项
·关于空气品质
请一定使用经过压缩空气净化机器的干空气，做为工厂侧的总压缩空气。湿空气对零件吸着、
装着有着负面影响，会导致
SI-F130AI
误动作。
·关于空气压力
请给
SI-F130AI
供给压力为
0.49
～
0.92 MPa (5
～
9.4 kgf/cm
2
)
的空气。
如果空气压力处于
0.40 MPa (4.1 kgf/cm
2
)
以下，即使投入电源，机器也会处于异常停止
状态。
2.1.3 关于真空压力的注意事项
关于真空压力
请确认真空泵在运转，
SI-F130AI
后面右下方的
VACUUM PUMP
真空压力计显示为
-86.0KPa
以下。（当所有机械阀切换至吹气侧
)
警告 :
!
注意 :
注意 :