SI-F130AI_1st_CS - 第595页
调试篇 3. 空气源的连接和真空泵 的运转 SI-F130AI 3-1 3. 空气源的连接 和真空泵的运转 3.1 总压缩空气源的连接 [ 作业功能 ] SI-F130AI [ 作业顺序 ] 供应空气 ·请勿供应压 缩空气以外的液体。 ·含有大量水 分的压缩空气可能引 起机器故障。 ·采取适当措 施如脱水设备，例如 空气干燥机或截水沟 。 ·请勿供应含 有化学物质、含有有 机溶解物质的人造油…
调试篇
2. 电气系统的连接
2-6
SI-F130AI
2.3 与前工程和后工程的信号线缆连接
[ 作业功能 ]
为了使前后工程的机器与基板接收时间相吻合，在彼此之间连接了信号线缆。
[ 准备的物品 ]
与前工程连接用线缆 ( 选配 ) ：根据下述 4 点选择线缆。
与后工程连接用线缆
( 选配 ) ：根据下述 4 点选择线缆。
[ 连接的连接器规格 ]
(1)
与前工程连接的连接器规格
连接器规格：
AMP.206043-1(14 极 )
(2)
与后工程连接的连接器规格
连接器规格：
AMP.206043-1(14 极 )
在
SI-F130AI
一侧使用
AMP.14
极插座
(
型号：
206043-1)。
本体侧 前工程侧 线缆长
1
SMEMA 规格 AMP(14P) 插头 SMEMA 规格 AMP(14P) 插头
0.35m
2
同上 同上
1m 或者 3m
3
同上
MOLEX(4P) 插头 3m
4
同上
< 顾客规格 >
顾客指定
本体侧 后工程侧 线缆长
1
SMEMA 规格 AMP(14P) 插头 SMEMA 规格 AMP(14P) 插头
0.35m
2
同上 同上
1m 或者 3m
3
同上
MOLEX(4P) 插头 3m
4
同上
< 顾客规格 >
顾客指定
针号码 信号名称 信号方向
1
2
3
4
8
REQUEST(+)
REQUEST(-)
READY
G24
SHIELD
SI-F130AI 前工程装置
SI-F130AI 前工程装置
SI-F130AI 前工程装置
SI-F130AI 前工程装置
针号码 信号名称 信号方向
1
2
3
4
8
READY
G24
REQUEST(+)
REQUEST(-)
SHIELD
SI-F130AI 后工程装置
SI-F130AI 后工程装置
SI-F130AI 后工程装置
SI-F130AI 后工程装置
注意 :
调试篇
3. 空气源的连接和真空泵的运转
SI-F130AI
3-1
3. 空气源的连接和真空泵的运转
3.1 总压缩空气源的连接
[ 作业功能 ]
SI-F130AI
[ 作业顺序 ]
供应空气
·请勿供应压缩空气以外的液体。
·含有大量水分的压缩空气可能引起机器故障。
·采取适当措施如脱水设备，例如空气干燥机或截水沟。
·请勿供应含有化学物质、含有有机溶解物质的人造油、盐或腐蚀性气体。否则，机器可能故障
或损坏。
工厂侧总压缩空气，请一定使用经过压缩空气净化机器且压力为
0.49
～
0.92MPa
的干空气。
湿空气会给零件吸着
·
装着不好影响，引起
SI-F130AI
自身误动作。
1. 0MPa
2.
3. SI-F130AI
4. SI-F130AI SUPPLIED AIR 0.49MPa /
0.49MPa (5kgf/cm
2
)
φ 8
注意 :
SUPPLIED AIR
压力计
SI-F130AI 后面右侧连接部分
警告 :
!
调试篇
3. 空气源的连接和真空泵的运转
3-2
SI-F130AI
3.2 真空泵的运转
[ 操作功能 ]
SI-F130AI
[ 操作顺序 ]
1.
/
SI-F130AI
2. SI-F130AI
SI-F130AI
SI-F130AI
3.
SI-F130AI
/
SI-F130AI VACUUM PUMP
0.077MPa (60cmHg=0.79Kgf/cm
2
)