SI-F130AI_1st_CS - 第62页
操作篇 2. 系统操作 2-4 SI-F130AI 2.3 电源 切断时的顺序 。 确认运转 停止 请确认运 转停止时，操作面板 ST OP 灯变亮。 在运转中 ，请等待运转终止或 按 ST OP 钮。 确认残留 基板 确认搬入 基板输送带、搬出基 板输送带上都没有基 板残留。 如果有基 板残留，请一定通过 搬出操作排出。 虽然 SI-F 130AI 主程序已经结 束，但请不要从 Win do…
操作篇
2. 系统操作
SI-F130AI
2-3
2.2 上电时的顺序
[ 操作顺序 ]
(1)
确认没有障碍物。
(2) 开启主断路器。
图
2.2-1
主断路器
(3) 确认空气的压力。
0.49 0.92 Mpa (5 9.4 kgf/cm
2
)
(4) 按电源开关按 钮。
图
2.2-2
电源开
/
关开关
•
从投入电源到主画面
(
自动生产
)
期间，请避免操作键盘或按手动控制器键，否则会出现系统
错误。
•
在插着
FD
的状态下投入电源
SI-F130AI
也不会激活。如果发生这种情况，请将
FD
拔出，
按键盘的
ENTER
键。
(5) 请确认真空压力计指向－ 77.0KPa 以下。
(6) 自动生产
(7) 按操作面板的 ORG 钮。开始原点归零，归零过程中 ORG 钮内的灯变亮。原点归零过程
中所有操作都不能进行。
ORG STOP
·
STOP
钮内的灯，在 「自動運行」
(
自动运转
)
「 履歷」
(
日志
)
模式以外状态时，即使装
置停止也不亮。
·若原点归零失败了，对话窗口内将显示警告。点击窗口右下方详细，请参考
明 細
(
明细
)
内
容。
ON
OFF
注意 :
注意 :
操作篇
2. 系统操作
2-4
SI-F130AI
2.3 电源切断时的顺序
。
确认运转停止
请确认运转停止时，操作面板
STOP
灯变亮。
在运转中，请等待运转终止或按
STOP
钮。
确认残留基板
确认搬入基板输送带、搬出基板输送带上都没有基板残留。
如果有基板残留，请一定通过搬出操作排出。
虽然
SI-F130AI
主程序已经结束，但请不要从
Windows
开始菜单中选择 「關機」
(
关机
)
。
[ 操作步骤 ]
(1)
按电源开／关的 钮。
(2) 系统开始关机。
SI-F130AI
(3) 主断路器关闭。
图
2.3
主断路器
·未停止系统时请不要关闭主电流断路器。
否则，系统将出现故障或被损坏。
·由于停电等原因，导致在按电源开
/
关
钮前主断路器已关闭情况下，请关闭主断路器
5
分
钟以上再激活
SI-F130AI
。
ON
OFF
警告 :
!
注意 :
注意 :
注意 :
操作篇
3. 操作画面构成
SI-F130AI
3-1
3. 操作画面构成
3.1 画面操作的概要
3.1.1 画面的基本操作
[ 操作功能 ]
SI-F130AI
[ 操作顺序 ]
[2. ] SI-F130AI
图
3.1.1-1
图
3.1.1-2
自動生產－動作狀況
(
自动生产－动作状况
)
画面