SI-F130AI_1st_CS - 第63页
操作篇 3. 操作画 面构成 SI-F130AI 3-1 3. 操作画面 构成 3.1 画面操作的概要 3.1.1 画面的基本操作 [ 操作功能 ] SI-F130AI [ 操作顺序 ] [2 . ] SI- F130AI 图 3.1.1- 1 图…
操作篇
2. 系统操作
2-4
SI-F130AI
2.3 电源切断时的顺序
。
确认运转停止
请确认运转停止时，操作面板
STOP
灯变亮。
在运转中，请等待运转终止或按
STOP
钮。
确认残留基板
确认搬入基板输送带、搬出基板输送带上都没有基板残留。
如果有基板残留，请一定通过搬出操作排出。
虽然
SI-F130AI
主程序已经结束，但请不要从
Windows
开始菜单中选择 「關機」
(
关机
)
。
[ 操作步骤 ]
(1)
按电源开／关的 钮。
(2) 系统开始关机。
SI-F130AI
(3) 主断路器关闭。
图
2.3
主断路器
·未停止系统时请不要关闭主电流断路器。
否则，系统将出现故障或被损坏。
·由于停电等原因，导致在按电源开
/
关
钮前主断路器已关闭情况下，请关闭主断路器
5
分
钟以上再激活
SI-F130AI
。
ON
OFF
警告 :
!
注意 :
注意 :
注意 :
操作篇
3. 操作画面构成
SI-F130AI
3-1
3. 操作画面构成
3.1 画面操作的概要
3.1.1 画面的基本操作
[ 操作功能 ]
SI-F130AI
[ 操作顺序 ]
[2. ] SI-F130AI
图
3.1.1-1
图
3.1.1-2
自動生產－動作狀況
(
自动生产－动作状况
)
画面
操作篇
3. 操作画面构成
3-2
SI-F130AI
[
画面说明 ]
Windows2000
SI-F130AI
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