SI-F130AI_1st_CS - 第90页
操作篇 4. 自动生产 4-16 SI-F130AI 4.2.3 停止模式设定 連續 ( ) 循環停止 ( ) 步驟停止 ( ) 動作停止 ( ) [ 画面说明 ] 4 連續 ( ) �…
操作篇
4. 自动生产
SI-F130AI
4-15
· 絕對座標移動 ( 绝对坐标移动 )
,
START ,
結束
( ) ,
在轨道移动中按操作面板
STOP
钮时立即停止
,
再度按
START
钮
,
再开始移动至目标位
置。
· 相對座標移動 ( 相对坐标移动 )
START
(+) (-)
轨道移动中按操作盘的
STOP
钮时立即停止
,
再度按
START
钮
,
再开始移动至目标位置。
結束 ( ) ,
·
微調動作移動 ( 微调动作移动 )
高速 ( ) 低速 ( )
SHIFT
結束 ( )
(2) 基板的搬出搬入
基板操作 ( ) ,
搬入 ( ) 搬出 ( )
終了 ( ) 動作設定 ( )
(3) 基板的搬出间隔
設定 ( )
注意 :
注意 :
操作篇
4. 自动生产
4-16
SI-F130AI
4.2.3 停止模式设定
連續 ( ) 循環停止 ( ) 步驟停止 ( )
動作停止 ( )
[ 画面说明 ]
4
連續 ( )
循環停止 ( )
1
步驟停止 ( )
1
動作停止 ( )
1
操作篇
4. 自动生产
SI-F130AI
4-17
4.2.4 步骤指定
(1) 开始、结束步骤的设定
[ 操作功能 ]
[ 操作顺序 ]
開始步驟 ( )
0
結束步驟 ( )
0
開始步驟 ( ) 結束步驟 ( ) 設定 ( )
NC 資料重設 (NC )
(2) 指定搬送第 1 片基板
[ 操作功能 ]
SI-F130AI
[ 操作顺序 ]
指定搬送第 片基板 ( ) , SI-F130AI