JUKI_FX-3R_MAINTE_CH - 第298页
FX -3RA 维修调整要领书 2-3 ZT 驱动器基板 ZT 驱动器支架 右侧（左侧相同） SL6041492TN × 6 个（单侧） Z 动力连接器底座 SL6040892TN × 4 个 Z 电动机电力线
FX-3RA
维修调整要领书
2-2
贴装头风扇
风扇保护板
SL4042591SC×4 个
SL6041492TN×4 个
贴装头电缆导向器
贴装头主支柱
上侧：SL6040892TN×5 个
SL6040892TN×2 个
贴装头芯座
SL6041092TN×2 个
支柱架 R
（反侧：L）
下侧：SL6040892TN×4 个
风向
FX-3RA
维修调整要领书
2-3
ZT 驱动器基板
ZT 驱动器支架
右侧（左侧相同）
SL6041492TN×6 个（单侧）
Z 动力连接器底座
SL6040892TN×4 个
Z 电动机电力线
FX-3RA
维修调整要领书
3-1
为了防止突然的起动造成事故，请关掉电源之后再进行操作。
XY 轴使用了非常强力的磁铁。
· 金属类物件请勿接近磁铁面。有可能被磁力吸住而无法取下。
· 进行保养时，请将手表等随身携带的精密器械从身上取下。
· 正在使用心房脉冲产生器等精密医疗仪器的人，请勿进行保养作业。
3
贴装头周边部件
3-1．
电磁阀的更换
降低主体的原压力，进行更换。
1） 先拆下①带垫片内六角螺钉（×2），再拆下贴装头保护罩。
2） 先拆下②带垫片内六角螺钉（×2）、扎线、空气软管，再拆卸电磁阀主体。
3） 先拆卸③盆头螺钉（×2），再拆卸各电磁阀。（注意不要弄丢电磁阀背面的垫圈）
4） 装配请按相反的步骤进行。
5） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。
※ ③盆头螺钉（2 个）和密封垫圈（1 个）是各电磁阀的附属品。
图
3-1-1
电磁阀的更换
危险
贴装头保护罩
40104677
电磁阀
40068170
电磁阀
B
40068169
电磁阀V
③盆头螺钉
①SL6030692TN
带垫片内六角螺栓 M3×6
②SL6030692TN
带垫片内六角螺栓 M3×6