JUKI_FX-3R_MAINTE_CH - 第300页
FX -3RA 维修调整要领书 3-2 3-2 ． 过滤器的更换 降低主体的原压力，进行更换。 ＜ 贴装头过滤器的更换 ＞ 1 ） 先拆卸 ① cap （ ×2 ）、 ② cap （ ×2 ），再拆卸过滤器箱 U 。 （过滤器箱 U 下面有 O 形环。注意不要弄丢。） 2 ） 取出过滤器并进行更换。 3 ） 装配请按相反的步骤进行。 4 ） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。 ＜ 电磁阀大气开放用过滤器的…
FX-3RA
维修调整要领书
3-1
为了防止突然的起动造成事故，请关掉电源之后再进行操作。
XY 轴使用了非常强力的磁铁。
· 金属类物件请勿接近磁铁面。有可能被磁力吸住而无法取下。
· 进行保养时，请将手表等随身携带的精密器械从身上取下。
· 正在使用心房脉冲产生器等精密医疗仪器的人，请勿进行保养作业。
3
贴装头周边部件
3-1．
电磁阀的更换
降低主体的原压力，进行更换。
1） 先拆下①带垫片内六角螺钉（×2），再拆下贴装头保护罩。
2） 先拆下②带垫片内六角螺钉（×2）、扎线、空气软管，再拆卸电磁阀主体。
3） 先拆卸③盆头螺钉（×2），再拆卸各电磁阀。（注意不要弄丢电磁阀背面的垫圈）
4） 装配请按相反的步骤进行。
5） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。
※ ③盆头螺钉（2 个）和密封垫圈（1 个）是各电磁阀的附属品。
图
3-1-1
电磁阀的更换
危险
贴装头保护罩
40104677
电磁阀
40068170
电磁阀
B
40068169
电磁阀V
③盆头螺钉
①SL6030692TN
带垫片内六角螺栓 M3×6
②SL6030692TN
带垫片内六角螺栓 M3×6
FX-3RA
维修调整要领书
3-2
3-2．
过滤器的更换
降低主体的原压力，进行更换。
＜贴装头过滤器的更换＞
1） 先拆卸① cap（×2）、② cap（×2），再拆卸过滤器箱 U。
（过滤器箱 U 下面有 O 形环。注意不要弄丢。）
2） 取出过滤器并进行更换。
3） 装配请按相反的步骤进行。
4） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。
＜电磁阀大气开放用过滤器的更换＞
1） 先拆卸③带垫片内六角螺钉（×2）再拆卸 SV 保护罩。
2） 拧松④螺钉（×2），然后拆卸大气开放用过滤器。
（只要拧松螺钉就可以拆下过滤器）
3） 装配请按相反的步骤进行。
※ ④带垫片内六角螺栓（2 个）是电磁阀的附属品。
图
3-2-1
贴装头过滤器的更换
①紧固扭矩：0.9N·m
②紧固扭矩：0.6N·m
E3052729000
贴装头过滤器
③SL6030692TN
带垫片内六角螺栓
M3×6
40068171
大气开放用过滤器
④带垫片内六角螺钉（×2
）
①SM6031602TN
内六角螺栓 M3×16
②SM6034002TN
内六角螺栓 M3×40
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3-3
3-3．
坏标记传感器的更换
3-3-1．
传感器部
1） 拆下①带垫片内六角螺钉（×2）、BM 镜头支架 A（B）。（图为 BMR 镜头支架 A（RR 贴装头
用））
2） 先拆下②螺母、③垫圈，再拆下④镜头。
3） 装配请按相反的步骤进行。
BMR 镜头支架 B（LR 贴装头用）也同样进行。
※ ②螺母（2 个）和③垫圈是光纤装置的附属品。
图
3-3-1-1 BMR
镜头更换
①SL6030692TN
带垫片内六角螺栓 M3×6
RR贴装头：BMR镜头支架A
LR贴装头：BMR镜头支架B
②螺母
③垫圈
②螺母
④E9638729000
光纤镜头
7mm