JUKI_FX-3R_MAINTE_CH - 第301页
FX -3RA 维修调整要领书 3-3 3-3 ． 坏标记传感器的更换 3-3 -1 ． 传感器部 1 ） 拆下 ① 带垫片内六角螺钉（ ×2 ）、 BM 镜头支架 A （ B ）。（图为 B MR 镜头支架 A （ RR 贴装头 用）） 2 ） 先拆下 ② 螺母、 ③ 垫圈，再拆下 ④ 镜头。 3 ） 装配请按相反的步骤进行。 BM R 镜头支架 B （ LR 贴装头用）也同样进行。 ※ ② 螺母（ 2 个）和 ③ 垫圈是光纤装置的附…
FX-3RA
维修调整要领书
3-2
3-2．
过滤器的更换
降低主体的原压力，进行更换。
＜贴装头过滤器的更换＞
1） 先拆卸① cap（×2）、② cap（×2），再拆卸过滤器箱 U。
（过滤器箱 U 下面有 O 形环。注意不要弄丢。）
2） 取出过滤器并进行更换。
3） 装配请按相反的步骤进行。
4） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。
＜电磁阀大气开放用过滤器的更换＞
1） 先拆卸③带垫片内六角螺钉（×2）再拆卸 SV 保护罩。
2） 拧松④螺钉（×2），然后拆卸大气开放用过滤器。
（只要拧松螺钉就可以拆下过滤器）
3） 装配请按相反的步骤进行。
※ ④带垫片内六角螺栓（2 个）是电磁阀的附属品。
图
3-2-1
贴装头过滤器的更换
①紧固扭矩：0.9N·m
②紧固扭矩：0.6N·m
E3052729000
贴装头过滤器
③SL6030692TN
带垫片内六角螺栓
M3×6
40068171
大气开放用过滤器
④带垫片内六角螺钉（×2
）
①SM6031602TN
内六角螺栓 M3×16
②SM6034002TN
内六角螺栓 M3×40
FX-3RA
维修调整要领书
3-3
3-3．
坏标记传感器的更换
3-3-1．
传感器部
1） 拆下①带垫片内六角螺钉（×2）、BM 镜头支架 A（B）。（图为 BMR 镜头支架 A（RR 贴装头
用））
2） 先拆下②螺母、③垫圈，再拆下④镜头。
3） 装配请按相反的步骤进行。
BMR 镜头支架 B（LR 贴装头用）也同样进行。
※ ②螺母（2 个）和③垫圈是光纤装置的附属品。
图
3-3-1-1 BMR
镜头更换
①SL6030692TN
带垫片内六角螺栓 M3×6
RR贴装头：BMR镜头支架A
LR贴装头：BMR镜头支架B
②螺母
③垫圈
②螺母
④E9638729000
光纤镜头
7mm
FX-3RA
维修调整要领书
3-4
3-4．
HMS
的更换
3-4-1．
HMS
头部的更换
1） 先拆卸①cap（×2），再拆卸 HMS 支架贴装头。（图为 LF、RR 贴装头用）
2） 先拆卸②cap（×2），再拆卸 HMS 贴装头。
3） 装配请按相反的步骤进行。LR、RF 贴装头也同样进行。
图
3-4-1-1 HMS
头部的更换
3-4-2．
放大器的更换
1） 先拆卸①cap（×2），再拆卸贴装头手柄。
※ 如果带有坏标记读入器选项，则预先从坏标记的放大
器上拆下光纤装置。
图
3-4-2-1
拆卸贴装头手柄
2） 把放大器部一边往下按一边往前拉拆卸放大器部分。
（图为 LF、RR 贴装头）
3） 装配请按相反的步骤进行。
LR、RF 贴装头也同样进行。
图
3-4-2-2
拆卸放大器
①SM6032002TN
内六角螺栓 M3×20
②拉
40120250
高度传感器装置组件
②SM6032502TN
内六角螺栓 M3×25
40120250
高度传感器装置组件
①SL6040892TN
内六角螺栓 M4×8