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6 预防性维护作业 6.2 维护任务总览 用户手册 ASM ProcessLens 03/2021 87 6.2 维护任务总览 维护任务流程 工作流程 1 工作流程 2 工作流程 3 工作流程 4 维护任务（每周） 检查并清洁设备上的风扇 X X X X 检查并清洁 X 与 Y 轴的磁性表面 X X X X 真空传送导轨 X X X X 维护任务（每 3 个月） 清洁 Y1 悬臂辊板 X 更换 Y 轴润滑系统 …
6 预防性维护作业
6.1 安全须知
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6.1 安全须知
警告
小心灼伤
► 使用易燃液体（例如酒精）进行清洁工作时，切勿使用明火或靠近火源。
► 切勿将喷壶中的润滑剂或清洁剂喷洒到火源或明火附近。
► 切勿将润滑剂喷洒到光学探头附近，否则可能会对测量系统造成严重损坏。
警告
SIPLACE 清洁纸巾
严禁吞咽 SIPLACE 清洁纸巾，否则会损坏您的呼吸器官，有害健康。
► 不要吸入喷雾剂/雾气。
► 避免与皮肤接触。如意外吞食，切勿进行诱发呕吐。应及时就医并向医生出示包装或标
签。
► 使用清洁纸巾时，请佩戴医用手套。
注意
不遵守安全须知的操作可能导致人身伤害和设备受损！
► 执行各项维护任务时，请务必遵守本说明手册第安全章中的相关说明。
注意
耗材
► 请遵守耗材安全数据表！
注意
清洁和润滑
► 始终使用乙醇进行清洁——切勿使用任何溶剂。
► 此外，还可使用异丙醇 – IPA。
► 严禁使用压缩空气清洁设备或模块总成内部。
注意
部件供给区域同一时间只允许容纳一人。
这样可确保操作人员和其他人员的安全。双手操作料车插件可避免这位人员发生危险。
6.1.1 有害物质的安全须知
注意
遵守安全数据表单指示！
► 处理有害物质时，请遵守安全数据表单的指示（如 Loctite 241、乙醇）。
6 预防性维护作业
6.2 维护任务总览
用户手册 ASM ProcessLens 03/2021 87
6.2 维护任务总览
维护任务流程 工作流程 1 工作流程 2 工作流程 3 工作流程 4
维护任务（每周）
检查并清洁设备上的风扇 X X X X
检查并清洁 X 与 Y 轴的磁性表面 X X X X
真空传送导轨 X X X X
维护任务（每 3 个月）
清洁 Y1 悬臂辊板 X
更换 Y 轴润滑系统 X
维护任务（每 6 个月）
清洁和防护六角轴 X
清洁并保养传送导轨上的滚珠丝杠 X
清洁并保养传送导轨导向轴 X
清洁并保养传送导轨线性引导装置 X
维护任务（每 12 个月）
2D/3D 校准 X
检查安全功能 X
清洁保护盖 X
检查/清洁/更换保护盖上的气压弹簧 X
清洁 X 轴线性引导装置 X
清洁 Y 轴线性引导装置 X
润滑 X 轴的引导轴承 X
润滑 Y 轴的引导轴承 X
目标高度验证（参考单元） X
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6.2 维护任务总览
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