SP60P-L Parts list(Mechanical)20120628 - 第99页
Ref No. Remark s R 1 Q'ty 11-C マスククリーニングユニット(L) Mask Cleaning Unit(L) ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit N o . キット品 番 Kit Name キット名称 KXFX03BUA00 Part Nam e 備 考 ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LIST Section No. R 3 DUCT 1 1 KX…
11-C
マスククリーニングユニット(L)
Mask Cleaning Unit(L)
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
KXFX03BUA00
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
M79
( KKXFX03BUA00-15-3 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
11-C
マスククリーニングユニット(L)
Mask Cleaning Unit(L)
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
KXFX03BUA00
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
DUCT
1
1 KXFB08YNA01
PLATE
1
2 KXFB034DC01
PLATE
1
3 N210051270AA
PLATE
1
4 KXFB08YQA02
NOZZLE
1
5 KXFB08YTA01
NOZZLE
1
6 N210001863AA
PLATE
1
7 KXFB035FB00
COLLAR
2
8 KXFB08Z0A01
COVER
1
9 KXFB08Z4A02
BRACKET
1
10 N210044752AB
OIL-SEAL
1
11 KXF0E19NA00 BM 1215 A3
CYLINDER
1
12 KXF0DXCKA00 SSD-L-32-30-T0V-D
SPEED-CONTROLLER
2
13 KXF0DZHSA00 AS2301F-01-04S
PLUNGER
1
14 KXF0E0UDA00 PFSSN5
LINEAR-WAY
2
15 N510019504AA LWLF24C1R80BCSS1E724
PLUG
1
16 KXF0AP5AA00 SP2001
WASHER
1
17 KXF0DYYLA00 FWSSB-D20.0-V8.0-T7.0
SCREW
2
18 N510018419AA
Hexagon socket set screw Flat point M3X3-45H A2J (Trivalent)
SCREW
2
19 N510018257AA
Cross recessed Truss head machine screw M4X10-4.8 A2J (Trivalent)
BOLT
2
20 N510017452AA
Hexagon socket head cap screw M6X65-10.9 A2J (Trivalent)
WASHER
2
21 KXF0B6AAA00 WSSB14-6-3
WASHER
1
22 KXF0CPJAA00 WSSB20-8-3
WASHER
1
23 KXF0AJKAA00 WSSB13-8-3
PIN
2
24 KXF01UYAA00 MS3-8
BOLT
6
25 KXF08P0AA00 Hexagon socket head cap screw M3X25L(SUS)
BOLT
4
26 KXF08RNAA00 Hexagon socket head cap screw M4X16L(SUS)
JOINT
3
27 N510001107AA L4N6X4-PT1/8ST
NOZZLE
1
28 KXFB0ATQA00
M80
--
( KKXFX03BUA00-15-3 )
11-D
マスククリーニングユニット(L)
Mask Cleaning Unit(L)
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
KXFX03BUA00
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
M81
( KKXFX03BUA00-15-4 )