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NPM-D3 EJM6DC-MB-05M-02 卸下交换台车 ( → P.3-2) 前侧 5-4 -2 每 1 4 0 小 时 保 养 定 期 检 查 ENABLING 1 ENABLING ( 基板支撑块上升 ) 2 确认提示 3 用棉纱布盖在 多功能识别照 相机上 顺序 9 卸下基板支撑块 ●请注意不要在多功能识别照 相机 (LED 照明 ) 上掉落物体 或者撞击。 ●当在基板支撑块上存在支撑 销时，请小心不要掉落。 基板支撑块 O…
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基板支撑块 (自动更换用)
(选购件) 的清扫 1
5-4-1
在这里对基板支撑块(自动更换用)(选购件)的清扫进行说明。
使用工具: 棉纱布等 双轨传送带所需时间:10 分钟
●基板支撑块和基板座上如果有灰尘，是造成基板支撑块安装不良、基板破损的原因。
注意
随单轨模式和双轨模式的不同，后侧的支撑板的配置也有异。
(参照下图)
■单轨模式的配置 ■双轨模式的配置
前侧 前侧
如果错误地安装了Ａ、Ｂ的基板支撑块，则无法变更到单轨模式的配置。
B
A A
B
基板支撑块 型号/支撑块数 支撑块配置图(背面)
A
N610153810AB
(支撑块数:1个)
B
N610153811AB
(支撑块数:2个)
维修保养篇
5-4
NPM-D3 EJM6DC-MB-05M-02
卸下交换台车
(→P.3-2)
前侧
5-4-2
每
1
4
0
小
时
保
养
定
期
检
查
ENABLING
1
ENABLING
(基板支撑块上升)
2
确认提示
3
用棉纱布盖在
多功能识别照
相机上
顺序
9
卸下基板支撑块
●请注意不要在多功能识别照
相机(LED照明)上掉落物体
或者撞击。
●当在基板支撑块上存在支撑
销时，请小心不要掉落。
基板支撑块
OFF
SERVO
5
4
7
6
8
卸下料架工作台盖
(→P.3-3)
(前侧/后侧的X轴移动到退
避位置)
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基板支撑块 (自动更换用)
(选购件) 的清扫 2
5-4-3
ENABLING
平稳(无倾斜)地安装基板支撑块
(否则会与轨道产生干涉)
取下棉纱布
基板支撑块
清扫基板座和基板
支撑块
●基板支撑块(自动更换用)
的上面，请用蘸了酒精的
棉纱布擦拭。
●请勿用锋利勿损伤基板支
撑块(自动更换用)上面的
涂料。
9
10
12 11
13
15 16
14
SERVO
ON
安装料架工作台盖
(→P.3-3)
安装交换台车
(→P.3-2)
前侧
维修保养篇
5-4