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NPM-D3 EJM6DC-MB-06M-02 对基板传送带的润滑脂添加方法进行 说明。 使用工具 : 润滑脂枪 所需 时间 :20 分钟 ●对基板传送带的宽度调整滚珠丝杠 、线性导轨、滚珠花键添加润滑 脂。 ●对交换台车侧加以说明。请卸下料架后进行作业。 ( → P.13-8) ●建议在双轨模式下进行作业。 ( → P.10 -2-1) 维修保养篇 6-1 基板传送带的润滑脂添加 1 6-1 -1 卸下交换台车 ( → P.3-2) …

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6 定期检查
每560小时保养
NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-02
对基板传送带的润滑脂添加方法进行说明。
使用工具:润滑脂枪 所需时间:20 分钟
●对基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨、滚珠花键添加润滑脂。
●对交换台车侧加以说明。请卸下料架后进行作业。(→ P.13-8)
●建议在双轨模式下进行作业。(→ P.10-2-1)
维修保养篇
6-1
基板传送带的润滑脂添加 1
6-1-1
卸下交换台车
(→P.3-2)
1
ENABLING
3
2
●事先确认不存在支撑销。
5
OFF
SERVO
4
6
卸下料架工作台盖
(→P.3-3)
确认提示
ENABLING
NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-02
向基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨、滚珠花键上供给润滑脂
6-1-2
每
5
6
0
小
时
保
养
7
顺序
8
定
期
检
查
轨道1右侧
轨道2右侧
轨道1左侧
轨道2左侧
线性导轨
*2)
滚珠花键
*3)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
线性导轨
*2)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
滚珠花键
*3)
*1)
滚珠丝杠的情形
●从润滑脂注入口(可动侧轨道) ，使用润滑脂枪添加。
各压出1次(约0.9 cm
3
)
●使用润滑脂: LCG100
*2)
线型导轨的情形
●在线型导轨的附近直接添加润滑脂。
●使用润滑脂: LCG100
*3)
滚珠花键的情形
●在滚珠花键的中压部分直接添加润滑脂。
●使用润滑脂: LCG100