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NPM-D3 EJM6DC-MB-06M-0 2 6-6 -2 7 检查皮带 5 把 X 轴往内推 6 4 8 ●用滚轮转动皮带，如果发现损伤、 灰尘附着，或发生磨损、起毛 就进行更换。 ●各轨道上有 6 条。（参照下图） 可动侧 固定侧 可动侧 固定侧 轨道 1 侧 轨道 2 侧 每 5 6 0 小 时 保 养 定 期 检 查 卸下料架工作台盖 ( → P.3-3) 安装料架工作台盖 ( → P.3-3) 皮带 滚轮
NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-02
6-6-1
传送带的检查 1
维修保养篇
6-6
卸下交换台车
(→P.3-2)
1 2
将传送带宽度调
整为150 mm(为
了更有利于操作)
(→『操作篇』P.2-5-4)
安装交换台车
(→P.3-2)
11
9
在这里对基板传送带 传送带L、传送带R的检查方法进行说明。
使用工具:皮带张力计 所需时间: 基板传送带:5 分钟 传送带L、传送带R:各2 分钟
基板传送皮带的检查
OFF
SERVO
3
SERVO
ON
10
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EJM6DC-MB-06M-02
6-6-2
7
检查皮带
5
把X轴往内推
6
4
8
●用滚轮转动皮带，如果发现损伤、灰尘附着，或发生磨损、起毛
就进行更换。
●各轨道上有6 条。（参照下图）
可动侧
固定侧
可动侧
固定侧
轨道1侧
轨道2侧
每
5
6
0
小
时
保
养
定
期
检
查
卸下料架工作台盖
(→P.3-3)
安装料架工作台盖
(→P.3-3)
皮带
滚轮
NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-02
将传送带宽度调
整为150 mm(为
了更有利于操作)
(→『操作篇』P.2-5-4)
维修保养篇
6-6
6-6-3
传送带的检查 2
传送带L、传送带R的皮带的检查
1 2
5
SERVO
ON
6
OFF
SERVO
3
打开传送带的上面
盖
关闭传送带的上面
盖