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NPM-D3 EJM6DC-MB-06M-0 2 6-10 -2 每 5 6 0 小 时 保 养 定 期 检 查 清扫基板检测传感器部 ●使用棉棒。 卸下料架工作台盖 ( → P.3-3) 4 6 ● 基板检测传感 器 轨道 1 、 2 的投光侧、受 光侧各有 6 个 基板检测传感器 5
NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-02
基板检测传感器的清扫 1
使用工具:棉棒 所需时间:5 分钟
6-10-1
1
卸下交换台车
(→P.3-2)
2
将传送带宽度调整
为150 mm
(→『操作篇』P.2-5-4)
基板传送带
对基板检测传感器的清扫方法进行说明。(→ P.13-8)
●为了更有利于操作
维修保养篇
6-10
3
OFF
SERVO
安装交换台车
(→P.3-2)
SERVO
ON
10
9
8
7
安装料架工作台盖
(→P.3-3)
NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-02
6-10-2
每
5
6
0
小
时
保
养
定
期
检
查
清扫基板检测传感器部
●使用棉棒。
卸下料架工作台盖
(→P.3-3)
4
6
●基板检测传感器
轨道1、2的投光侧、受光侧各有6个
基板检测传感器
5
NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-02
使用工具:棉棒 所需时间:2 分钟
3
传送带L、传送带R
基板检测传感器的清扫 2
6-10-3
1
将传送带宽度调整
为150 mm
(→『操作篇』P.2-5-4)
●为了更有利于操作
维修保养篇
6-10
清扫基板检测传感器部
●使用棉棒。
2
OFF
SERVO
●基板检测传感器
轨道1、2的投光侧、受光侧各有2个
6
5
SERVO
ON
4
基板检测传感器
打开传送带的
上面盖
关闭传送带的
上面盖