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NPM-D3 EJM6DC-MB-11M-02 对在前侧操作时的基板传送带的传送 皮带的更换方法进行说明。 使用工具 : 六角扳手 (2 mm) 所需时间 :30~60 分钟 11 - 1 -3 12 13 ON 14 15 ●在每个轨道的规格下的传送皮带的 配置，记载在下一页上。在进行 皮带的更换作业时，请复制或剪 切必要的页面灵活使用。 ■关于传送皮带的配置 安装交换台车 ( → P.3-2) 解锁 安装料架工作台盖 ( → P.3…
NPM-D3 EJM6DC-MB-11M-02
顺序
11-1-2
把X轴往内推
4
5
6
松开板的螺栓挪动板
●请不要拆下托板。
卸下料架工作台盖
(→P.3-3)
固定板
调整皮带张力
(→ P.6-5)
●螺栓 托板1: 4处
托板2: 2处
托板1
7
托板2
■长规格时 ■短规格时
●只限托板1。
●螺栓:4处
10
11
●螺栓 托板1: 4处
托板2: 2处
托板1托板2
■长规格时
■短规格时
●只限托板1。
●螺栓:4处
12
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对在前侧操作时的基板传送带的传送皮带的更换方法进行说明。
使用工具:六角扳手(2 mm) 所需时间:30~60分钟
11-1-3
12
13
ON
14
15
●在每个轨道的规格下的传送皮带的配置，记载在下一页上。在进行皮带的更换作业时，请复制或剪
切必要的页面灵活使用。
■关于传送皮带的配置
安装交换台车
(→P.3-2)
解锁
安装料架工作台盖
(→P.3-3)
基板传送带的
传送皮带的更换 2
维修保养篇
11-1
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11-1-4
NPM-D3
【短规格】
How to route the transfer belt
・ Loosen the tension pulley (●) and replace the belt.
・请松缓(●)的张力轮后，进行皮带的更换的作业。
・ (●)のテンションプーリーを緩めて、ベルト交換作業を行ってください。
MOVABL RAIL
可动轨
(可動レール)
FIXED RAIL
固定轨
(固定レール)
搬送ベルトの引き回し方法
搬送皮带的配置方法
LANE 1
LANE 2
■Short specification 短皮带规格 ショート仕様
LANE 1 ( FIXED RAIL )
轨道1(固定轨)
レーン1(固定レール)
LANE 1 ( MOVABLE RAIL )
轨道1(可动轨)
レーン1(可動レール)
LANE 2 ( FIXED RAIL )
轨道2(固定轨)
レーン2(固定レール)
LANE 2 ( MOVABLE RAIL )
轨道2(可动轨)
レーン2(可動レール)