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NPM-D3 EJM6DC-MB-02M-02 2-1-6 -4 概 要 传送带 L 、传送带 R 前后侧 基板传送皮带 ■ 传送带 L(N-CONL) 、 传送带 R(N-CONR) 基板检测传感器 滚珠花键 宽度调整滚珠丝杠 基板传送皮带 滚珠花键 宽度调整线性轴
NPM-D3 EJM6DC-MB-02M-02
概要
基板传送带
各单元定期检查部位 2
＜各类型共同点＞
2-1-6-3
维修保养篇
2-1-6
前后侧
基板传送皮带
滚珠花键
基板检测传感器
基板支撑块
※基板检测传感器在轨道1、轨道2的投光侧、受光侧各
有6个。
基板传送皮带
线性导轨
宽度调整滚珠丝杠
滚珠花键
宽度调整滚珠丝杠
线性导轨
NPM-D3 EJM6DC-MB-02M-02
2-1-6-4
概
要
传送带L、传送带R
前后侧
基板传送皮带
■传送带L(N-CONL) 、传送带R(N-CONR)
基板检测传感器
滚珠花键
宽度调整滚珠丝杠
基板传送皮带
滚珠花键
宽度调整线性轴
NPM-D3 EJM6DC-MB-02M-02
概要
各单元定期检查部位 3
＜各类型共同点＞
2-1-6-5
维修保养篇
2-1-6
交换台车
多功能识别照相机
前后侧
前后侧
空编带箱
料架工作台
玻璃盖
连接器