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MODEL TIM-5100 0008-001 Key No. P AR T No. P AR T NAME Q’ ty REMARKS NOTE C-6 501 630 069 0071 COVER(L) 1 741C--1 1B-501 502 630 076 8992 COVER 1 741C--1 1B-502 566 41 1 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 10 FW 4 567 41 1 141 290…
MODEL TIM-5100
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2 ビームＸＹ部 2-BEAM XY SECTION
Fig. C-6 ボールネジカバー Ball Screw Cover
MODEL TIM-5100
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Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
C-6
501 630 069 0071 COVER(L) 1 741C--11B-501
502 630 076 8992 COVER 1 741C--11B-502
566 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 10 FW4
567 411 141 2905 WASHER SPR 4 10 SW4
568 630 000 7619 BOLT,HEX-SCT 10 M4X8
MODEL TIM-5100
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真空ポンプ部 VACUUM PUMP SECTION
Fig. E-1 真空ポンプ Vacuum Pump