SME_Calibration_Jig_User_Guide(Chi_Ver2.3 - 第76页
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校准空压供料器
8. 在关闭带盖的状态下，用肉眼确认pocket的中心后，点击<Shutter>按钮。
9. 在打开带盖的状态下，请确认在画面中显示的pocket中心是否与关闭带盖时的
pocket中心相同或稍微处于下方位置。请将8~9步骤重复3次。
注 意 请注意pocket的中心位置差往下不能超过1/2栅极(25μm)。
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安装程序
第5章. 安装程序
5.1. 安装校准用治具程序
校准用治具程序和USB一起提供给客户。请按照下列步骤安装该程序。
注 意 本程序是英文版Windows 7以上的64 Bit专用程序。
1. 请执行Setup.exe文件。