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ASM AVS - BEDIENUNGSANLEITUNG
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5.3.2.7 »Current Results« – Teilansicht »Single Value«
Die unter Single Value angezeigten Graphiken sind abhängig von den Einstellungen auf der lin-
ken Seite des Fensters.
Siehe dazu auch 5.3.2.3 »Current Results« Auswahl Ergebnisdarstellung.
Nur bei der Ansicht »Single Value« können auch tatsächlich mehrere Graphen in einem Bild
dargestellt werden. Siehe dazu 5.3.2.3.
VORSICHT / CAUTION
Es können keine Graphen gemeinsam angezeigt werden, denen unterschiedliche Spezifikati-onsgrenzen
(Sollwerte) zugrunde liegen. Z.B. X- und Y- Achse kann nie gemeinsam mit dem Winkel dargestellt werden.
Die Angabe der Spezifikationsgrenzen hängt am „Item“.
Dadurch können verschiedene „Items“ mit unterschiedlichen Spec. Grenzen bewertet werden.
Sigma-Grenzen zeigen an, bei welchem Offset-Wert die angegebene Genauigkeitsklasse (Ac-
curacy Class), mit dem vorliegenden Ergebnis, erreicht wird.
Accuracy Class, siehe 5.3.2.6, 5.3.1, bzw. 5.2.24.1.2
Im Beispiel oben werden die geforderten 4 Sigma (cmk=1,33), im negativen Bereich erst bei ca.
-73µm für die X-Achse (blauer Graph), sowie bei ca. -77µm für die Y-Achse (gelber Graph), er-
reicht. Die geforderte Spezifikationsgrenze liegt allerdings bei 67µm (rote Linie).
Regressionsgeraden zeigen den Verlauf des Mittelwertes (Mean) des Ergebnisses an.
HINWEIS / NOTICE
Genauere Angaben zur Ergebnisbewertung siehe 7.4 Erläuterungen zu Statistik und Interpretation der
Ergebnisse.
Graph 1, z.B. X Offset.
Regressionsgerade
(Verlauf)
Sigma-
Grenzen
Spezifikationsgrenzen
(Sollwerte)
Hilfslinien aus- und
einblenden.
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5.3.2.7.1 Settings
Unter Settings können die Hilfslinien für die Gra-
phen aus- und eingeblendet werden.
Dies gilt für alle Graphen, wobei die Regressionslinie nur im
Single Value Graph zur Verfügung steht.
5.3.2.8 »Current Results« - Teilansicht »X-Y-Plot«:
Die unter »X-Y-Plot« angezeigten Graphiken sind abhängig von den Einstellungen auf der lin-
ken Seite des Fensters.
Siehe dazu auch 5.3.2.3 »Current Results« Auswahl Ergebnisdarstellung
Mit dieser Ansicht kann das Ergebnis für X- und Y- Achse gemeinsam dargestellt werden.
Für die Bewertung der Graphik, bzw. für die Bedeutung der Hilfslinien gilt dasselbe wie für die
Graphik im „Single Value Chart“.
Sigma-
Grenze
Spezifikationsgrenzen
(Sollwerte)
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5.3.2.9 »Current Results« Ansicht Frequency-Plot:
Die unter »Frequency-Plot« angezeigten Graphiken sind abhängig von den Einstellungen auf
der linken Seite des Fensters.
Siehe dazu auch 5.3.2.3 »Current Results« Auswahl Ergebnisdarstellung
Mit der Ansicht »Frequency« kann die »Gauss’sche- Glocke« (Normalverteilung) dargestellt
werden.
Prinzipiell gilt:
• Je schmaler und höher die Glockenkurve, desto besser das Ergebnis.
• Die Kurve sollte möglichst um den Nullwert (Mitte) liegen.
Für die Bedeutung der Hilfslinien gilt dasselbe wie für die Graphik im „Single Value Chart“.
Sigma-Grenzen
Gauß’sche Glockenkurve
(Normalverteilung)
Spezifikationsgrenzen
(Sollwerte)
Anzahl der Meßpunkte im Bereich
(hier in 10µm Schritten)
Mittelwert
(Mean)