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第 1 部 基本篇 第 2 章 生产 2- 92 2- 12 -1- 5 基板传送 显示各种传感器 的状态，一边进行基板搬入 、基板搬出、释放基板、 个别控制、自动调整基板 宽度， 一边进行传送相 关的调整。 (1) 操作 ① 传送动作 选择传送动作。 可选择 （基板）搬入、 （基板）搬入 ( 第 2 次 ) 、搬出（基板 ）、释放基板 、重夹。 ( （基板）搬入 ( 第 2 次 ) 仅单通道 传送才能选择 ) 起动时选择「 基板搬入 …
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2-12-1-3 传送控制
在传送通道状态画面显示后，执行传送动作，进行马达、支撑台等有关控制。
详情内容请参见「第 9 章 手动控制」的「9-4-1 传送控制」的各小项。
2-12-1-4 外形基准位置调整
要进行外形基准位置调整。
・ 外形基准位置调整
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2-12-1-5 基板传送
显示各种传感器的状态，一边进行基板搬入、基板搬出、释放基板、个别控制、自动调整基板宽度，
一边进行传送相关的调整。
(1) 操作
① 传送动作
选择传送动作。可选择（基板）搬入、（基板）搬入(第2次)、搬出（基板）、释放基板、重夹。
(（基板）搬入(第2次)仅单通道传送才能选择)
起动时选择「基板搬入」。
② 搬送动作显示
根据指定的传送动作、动作站点，以图形显示传送状态的变化。
③ 搬入后的BOC校准设置
选择基板搬入是否立即实施 BOC 校准。
「按照操作选项」…根据操作选项的设置决定是否进行 BOC 标记识别。
「必须执行」…必须进行 BOC 标记识别。
「不执行」…不执行 BOC 标记识别。
④ 状态
显示执行传送动作中的信息。
显示传送方向、BOC标记、固定状态的信息。
⑤ 轴退避
将轴进行退避。
⑥ 执行
按下执行按钮，执行[基板搬入]、[基板搬出]、[释放基板] 、[
重夹]动作。
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⑦ 关闭
退出基板传送画面。
执行传送时，按＜START＞开关(或＜执行＞)。
结束操作时，按＜关闭＞。
传送过程中因为某种理由要取消动作时，可按＜STOP＞开关停止。
(2)传送通道动作状态
①基板搬入
将基板传入进行固定的缓冲区，进行固定
这时固定的位置，会根据设置的设定、基板的外形尺寸而变化。
如果在固定位置上已有基板时，则在传出后再进行传入。
②基板搬入（第 2 次 ）（ 基板安装(2 阶段)）
进行第2阶段的固定。
在固定使用 HMS。
③搬出基板
将基板从固定位置传出。
④释放基板
如果基板被固定，则解除固定。
⑤重夹
如果基板在固定位置上，则进行重夹动作，固定基板。
⑥重夹(2 阶段)
基当基片是在夹紧位置时，重夹固定使用 HMS 操作