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第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3-4 更换间隔 ：每 2 年更 换 1 次。或压力下降 达到 约 0.1M Pa （ 1kgf ／ cm 2 ）时。 更换方法 1 ）请关闭指 状阀的旋纽。 2 ） 请一面把滑动 部向下降，一 面将本体向左 右某方向旋转 45 度，朝下拉 出。 将固定过滤器零 件 B 的树脂零件向左 旋转， 拆卸过 滤器零件 B 。 将过滤器零件 A 本身 向左旋转后拆 下 过滤器零件 A 。 3 ） 安装时，请…
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-3
各部分的检查
1）触摸画面右上部，确认使用气压为 500±50kPa。
2）若压力值不在上述范围内，请检查工厂内是否有空气泄漏。如果没有异常，请按「调整方法」重新调
整压力。
3) 请倒干净排水管连接的瓶里存的水、油。
1) 打开旋钮①。
2) 向下拉「调节器旋钮②」，旋转旋钮，把使用的空气压力调整为 0.5MPa。
检查项目
3-1-1 气压、排水瓶
实施频度 ：每天
检查内容 确认初压，检查排水
调整方法 调整初压
瓶内存了水、油，请倒干净。
打开状态
关闭状态
①
②
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-4
更换间隔
：每2年更换1次。或压力下降达到约0.1MPa（1kgf／cm
2
）时。
更换方法
1）请关闭指状阀的旋纽。
2）请一面把滑动部向下降，一面将本体向左右某方向旋转 45 度，朝下拉出。
将固定过滤器零件 B 的树脂零件向左旋转，拆卸过滤器零件 B。将过滤器零件 A 本身向左旋转后拆下
过滤器零件 A。
3）安装时，请按照相反的步骤进行操作。
注意
在开始作业前，请关闭指状阀的旋纽。
1) 請確認待機狀態的最大负压表示，達到-88kPa。
2) 最大负压表降低到-88kPa 以下时，需要更换消耗零件。
请按照「3-7-2 真空泵零件的更换」进行消耗零件的检查、更换。
检查･更换 更换过滤器零件
更换标准 ：1 年
检查项目
3-1-2 真空泵压力
实施频度 ：每天
检查内容 确认真空压力
打开状态
关闭状态
过滤器零件 A
PF901010000
过滤器零件 B
PF901006000
树脂零件
滑动部
-88.707
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3-5
1) 请确认没有漏气。
1）接通主机的电源后，请选择「手动控制」项目，检查下列各项目的动作状况。
① 基板挡块部
② ATC 单元
手动控制
「操作说明书 第 9 章 手动控制」
此功能用于确认各项动作、检查传感器的开／关。
检查项目
3-1-3 管道及接头
实施频度 ：每周
检查内容 检查气压管道部分是否漏气
检查项目
3-1-4 各单元气缸
实施频度 ：每周
检查内容 检查各气缸的动作
＜左侧内侧＞
检查漏气
指状阀
选择功能栏的「手动控
制」启动功能。