RS-1 使用说明书 用户使用 Rev01.pdf - 第722页
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置 8- 54 8-4- 5 OCC/HMS 控制 [ 控制单元 ] 指定 OCC 时，可 进行 O CC 控制 ；指定 HM S 时可进行 HM S 传感器 控制 。 按下 [ 垂直照明 ][ 角度照明 ] 的 [ ON ][ OF F ] 按钮，即对 OCC 进行照明 控制 。 选择 [ HMS ] 的「 传感器 ON 」「 传感器 OFF 」 时，即对 HMS 进行传 感器控制 。
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置
8-53
8-4-4 空气控制
[ 控制单元 ]指定 Head，可进行吹气、真空控制。
按下[ 吹气 ]、[ 真空 ]的[ ON ][ OFF ]按钮，进行控制单元中选择的 Head 的吹气控制、真空控制。
吹气控制、真空控制不能对相同 Head 同时设置 ON。
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置
8-54
8-4-5 OCC/HMS 控制
[ 控制单元 ]指定 OCC 时，可进行 OCC 控制；指定 HMS 时可进行 HMS 传感器控制。
按下[ 垂直照明 ][ 角度照明 ]的[ ON ][ OFF ]按钮，即对 OCC 进行照明控制。
选择[ HMS ]的「传感器 ON」「 传感器 OFF」时，即对 HMS 进行传感器控制。
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置
8-55
8-4-6 单元 1
可对ATC（滑板）、支撑台、安全盖锁定、LNC LED、传送挡块、传送、AWC进行控制。
(1) ATC 的滑板・・・・・可进行各 ATC 的滑板「OPEN / CLOSE」控制。
(2) 支撑台・・・・・・・可进行支撑台的「UP / DOWN」控制。
(3) 安全盖锁定・・・・・可执行前/后的 「安全盖锁定 ON/OFF」。
(4) LNC LED・・・・・・可以进行 LNC LED 的 「ON / OFF」。
(5) 传送挡块・・・・・・可执行传送挡块的「ON/OFF」。
(6) 传送控制・・・・・・按下[基板幅调整]按钮，即显示基板宽度调整画面。
按下[传送控制]按钮时，即显示基板传送主画面。