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第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置 8- 55 8-4- 6 单元 1 可对 ATC （滑板） 、支 撑台、 安全盖锁定 、 LNC LED 、传送挡块、 传送、 AWC 进行控制 。 (1) ATC 的滑板 ・・・・・ 可 进行各 ATC 的 滑板「 OPEN / CLOSE 」控制。 (2) 支撑台 ・・・・・ ・・ 可进行支撑台 的「 UP / DOWN 」控制。 (3) 安全盖锁定 ・・・・・ 可执 行 前 / 后的 …
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置
8-54
8-4-5 OCC/HMS 控制
[ 控制单元 ]指定 OCC 时，可进行 OCC 控制；指定 HMS 时可进行 HMS 传感器控制。
按下[ 垂直照明 ][ 角度照明 ]的[ ON ][ OFF ]按钮，即对 OCC 进行照明控制。
选择[ HMS ]的「传感器 ON」「 传感器 OFF」时，即对 HMS 进行传感器控制。
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8-55
8-4-6 单元 1
可对ATC（滑板）、支撑台、安全盖锁定、LNC LED、传送挡块、传送、AWC进行控制。
(1) ATC 的滑板・・・・・可进行各 ATC 的滑板「OPEN / CLOSE」控制。
(2) 支撑台・・・・・・・可进行支撑台的「UP / DOWN」控制。
(3) 安全盖锁定・・・・・可执行前/后的 「安全盖锁定 ON/OFF」。
(4) LNC LED・・・・・・可以进行 LNC LED 的 「ON / OFF」。
(5) 传送挡块・・・・・・可执行传送挡块的「ON/OFF」。
(6) 传送控制・・・・・・按下[基板幅调整]按钮，即显示基板宽度调整画面。
按下[传送控制]按钮时，即显示基板传送主画面。
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8-4-7 单元 2
可进行MTS托盘控制。
选择[托盘控制]的[速度]，按下[扩展]按钮，可按选择的速度拉出托盘。
(1) 托盘段数
指定控制托盘的层数。
(2) 速度
指定托盘拉出时的速度。
(3) 扩展
拉出托盘。