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第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制 9-7 (3) 控制 项目 用单选按钮选择 控制项目。 控制单元不同， 显示的按钮不一 样。 1) OCC a)XY 轴 移动 与 Head 控制 的 XY 轴移 动 相同。 b) 垂直照明控制 对 OCC 的垂直 照明的 ON/OFF ， 进行控制 。 · 移动 滑动条，设定 光量。 · 选择“垂直照 明 控制 ” 时 , 按 [ON] 按钮 ， [OFF] 按钮， [ON/OFF] 按钮…
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9-3-2 Head 设备控制
选择菜单的[Head]－[Head 设备控制]，即可显示 Head 设备控制画面。
(1) 状态
1) OCC
在 XY 轴坐标、照明(垂直照明，角度照明，外圈照明)的 ON 或 OFF 控制结束时显示。
外圈照明，在未设置选项的状态下显示为「＊＊＊＊」。
2) HMS
在 XY 轴坐标，Z 轴坐标控制结束后显示。
(2) 控制单元选择
用单选按钮选择控制对象单元。MS 参数的“选项单元”里没有勾选（没有安装）的单元，不能选
择。对机器设置[使用单元]里的设定，没有影响。
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(3) 控制项目
用单选按钮选择控制项目。
控制单元不同，显示的按钮不一样。
1) OCC
a)XY 轴移动
与 Head 控制的 XY 轴移动相同。
b)垂直照明控制
对 OCC 的垂直照明的 ON/OFF，进行控制。
·移动滑动条，设定光量。
· 选择“垂直照明控制”时, 按 [ON]按钮，[OFF]按钮，[ON/OFF]按钮，进行控制。
· 照明的状态，在控制结束时更新显示。
c)角度照明控制
对 OCC 角度照明的 ON/OFF，进行控制。 与(b)垂直照明控制一样，要设定光量。
d)外圈照明 (选购项)
对 OCC 外圈照明的 ON/OFF，进行控制。与(b) 垂直照明控制一样，要设定光量。
MS 参数中没有设定选项时，不能选择。
e)极性控制
对 OCC 的极性正/反，进行控制。
勾选控制项目的“极性控制”时，用[正]按钮，[反]按钮，[正/反]按钮，进行控制。
2) HMS
a)XY 轴移动
与 Head 控制的 XY 轴移动同样。
b)计测
计测高度。
・ 勾选控制项目的“计测”时，按[执行]按钮，进行控制。
・ 计测结果状态，在控制结束时显示。
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9-3-3 激光/传感器控制
选择菜单的[Head]－[激光/传感器控制]，即可显示激光/传感器控制的对话框。
(1) 状态·计测结果
控制 Head 真空的 ON/OFF，Z 轴坐标，激光计测结果，在控制结束时显示。
取得计测(SWEEP 及 ONCE)结果时，激光返回的状态一览显示在下页。