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第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制 9- 17 9-4-1- 1 控制对象:基板传送 按下 [ 基板传送 ] 按钮, 即可 显示如下画面 。 (1) 状态 马达 / 传感器 的状态,用 ON/OFF 显示。 (2) 控制项目 用单选按钮选择 控制项目。 按 [ 执行 ] 按钮后, 即开始按 选择的控制执行。 1) 初始化 将基板传送进 行初始化。 2) 基板搬入 按 基板停止方式 指定的方式 搬入基板。 基板 尺寸 X 对 应…

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2 功能详解篇 9 手动控制
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用画面中央的按下式按钮,可选择控制对象。
后面将详细说明参见 9-4-1-1 控制对象:基板传送以后的章节
No.
显示项目
显示图
显示内容
1 支撑台挡块
支撑台挡块处于 OFF 状态。
支撑台挡块处于 ON 状态。
2 支撑台原点传感器
支撑台原点传感器处于 OFF 状态。
支撑台原点传感器处于 ON 状态。
3
IN 缓冲选择
OUT 缓冲选择
IN/OUT 缓冲选择器处于 OFF 状态。
IN/OUT 缓冲选择器处于 ON 态。
4
准备搬入Ready In ·
准备搬出(Ready Out
Ready In/ Out 处于 OFF 状态。
Ready In/ Out 处于 ON 状态。
5
可以搬入基板
(Board available In)·
可以搬出基板
(Board available Out)
Board available In/Out 处于 OFF 态。
Board available In/Out 处于 ON 状态。
6 传送挡
传送挡块处于 OFF 状态
传送挡块处于 ON 状态
2 功能详解篇 9 手动控制
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9-4-1-1 控制对象:基板传送
按下[基板传送]按钮,即可显示如下画面
(1) 状态
马达/传感器的状态,用 ON/OFF 显示。
(2) 控制项目
用单选按钮选择控制项目。
[执行]按钮后,即开始按选择的控制执行。
1)初始化
将基板传送进行初始化。
2)基板搬入
基板停止方式指定的方式搬入基板。
基板尺寸 X 应长尺寸基板,可以从下面的「夹紧位置」选择装载的位置
3)基板搬出
搬出基板。
4)基板固定解除
释放基板。
5)基板重夹
基板停止方式中指定的方式对传送通道上的基板进行重夹
基板尺寸 X 应长尺寸基板,可以从下面的「夹紧位置」选择重夹位置。
6) 2 夹紧
将基板安装到长尺寸基板第二段夹紧位置
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9-4-1-2 控制对象:自动调整基板宽度
按下[自动调整基板宽度]按钮,即可显示以下画面。
自动基板宽度调整
(1) 状态
显示各种传感器基板搬送宽度的状态
(2) 控制项目
用单选按钮选择控制项目。
[执行]按钮后,开始进行与选择项目对应的控制。
1) 返回原点
自动调整基板宽度返回原点。
2) 变更幅度
按照“基板幅度编辑框中输入的值,变更搬送宽度