RS-1 使用说明书 用户使用 Rev01.pdf - 第782页
第 2 部 功能详解篇 第 10 章 设备运行信息 10 - 18 (2) [ 重新设置 ] 按钮 按下 [ 重新设置 ] 按钮或 主菜单 的 [ 初始化 ] － [ 重新设置 ] 后， 显示以下画面 。 可以清除一览中的 特定内容、 或所有内容。 · 按 [ 全部选择 ] 按钮，可选择 所有的复选框 。 · 点击需要重新 设置的项目复 选框， 按 [ 确定 ] 按钮后， 可显示 询问提示信息画面， 点击 [ 确定 ] 后，对象项目都 …
第 2 部 功能详解篇 第 10 章 设备运行信息
10-17
10-3-7 传送运行信息
从主菜单中选择[机器]－[传送运行信息]后，可显示传送运行信息画面。
(1) 传送
No.
项目
内容
1
通过基板总数
通过的基板张数累计。
2 入口马达驱动次数 搬入马达驱动次数的累计。
3 入口马达驱动时间 搬入马达驱动时间的累计。
4
中心马达驱动次数
中心马达驱动次数的累计。
5
中心马达驱动时间
中心马达驱动时间的累计。
6 中心 2 马达驱动次数
中心 2 马达驱动次数的累计。
7
中心 2 马达驱动时间
中心 2 马达驱动时间的累计。
8 出口马达驱动次数 出口马达驱动次数的累计。
9 出口马达驱动时间 出口马达驱动时间的累计。
10
传送错误次数
传送错误次数的累计。
11
等待基板搬入时间
从基板可搬入状态到下一块基板被夹紧的时间累计。
12
等待基板搬出时间
基板传送动作开始到结束的时间累计。
13 等待基板传送时间
从被夹紧的基板释放到完成夹紧/搬出完了为止的时间
累计。
14 支撑台驱动次数 支撑台驱动次数的累计。
15 自动调整基板宽度驱动次数 自动调整基板宽度动作次数的累计。
16 IN 缓冲器选择器驱动次数
IN 缓冲选择器动作的次数累计。
17 OUT 缓冲器选择器驱动次数 OUT 缓冲选择器动作的次数累计。
18 传送挡块驱动次数 传送挡块动作次数的累计。
19 挡块驱动次数 支撑台挡块动作的累计次数
第 2 部 功能详解篇 第 10 章 设备运行信息
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(2) [重新设置]按钮
按下[重新设置]按钮或主菜单的[初始化]－[重新设置]后，显示以下画面。
可以清除一览中的特定内容、或所有内容。
· 按[全部选择]按钮，可选择所有的复选框。
· 点击需要重新设置的项目复选框，按[确定]按钮后，可显示询问提示信息画面，点击[确定]
后，对象项目都将被重新设置，并关闭画面。
· 点击[取消]按钮，则数据不被重新设置，画面仍显示原来的数据。
第 2 部 功能详解篇 第 10 章 设备运行信息
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10-3-8 真空泵运行信息
从主菜单选择[机器]—[真空泵运行信息]，可显示真空泵运行信息画面。
(1) 真空泵运行信息
No
项目
内容
1 使用时间 使用真空泵的累计时间。
(2) [重新设置]按钮
按下[重新设置]按钮或主菜单的[初始化]－[重新设置]，即显示如下的询问信息。
・在询问信息上按下[确定]后，对象项目被重新设置，关闭画面。
・按[取消]按钮后，数据将不被重新设置，显示原有数据。