DECAN_S2_维修手册(V4.1) - 第134页
1-112 Advanced Chip Shooter DECAN S 2 Troubleshooting Guide 在 ANC 对话框点击 <Shutter On/Off> 按钮确认闸 门是否正常动作。 $6040 Z 轴没有移动 到 PUT 的位置。 [FREEZE LEVEL] [ 原因 ] Z 轴 为吸嘴的 PUT 动作下降 （ DOWN ） 时发生错误。 [ 措施 方法 ] 确认相应 ANC Hole…
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MMI
错误码（
Error Code
）和问题解决
[措施 方法]
按”STOP”按钮关闭蜂鸣器。
“按”RESET”按钮把设备转换成”IDLE”方式
点击”READY”按钮给设备提供电源。
在ANC对话框点击’Fiducial Mark Detail …’后移动到Fiducial Mark位置确认
Fiducial Mark位置是否准确设置。如果位置设置错误请重新进行示教。
首先点击 按钮执行”Position”对话框，在ANC菜单点击’Hole Position Detail
…’后，为确认槽坐标是否准确选择错误发生的ANC槽，确认要移动的设备是否
选择为”Fid Cam”。
还有点击<Move>按钮移动到相应ANC槽位置确认槽的中心是否与设置的位置
一致。另外，利用示教框手动下降Z轴确认ANC 槽坐标的Z值是否准确。
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Advanced Chip Shooter DECAN S2 Troubleshooting Guide
在ANC 对话框点击 <Shutter On/Off>按钮确认闸门是否正常动作。
$6040 Z轴没有移动到PUT的位置。[FREEZE LEVEL]
[原因 ]
Z轴为吸嘴的PUT动作下降（DOWN）时发生错误。
[措施 方法 ]
确认相应ANC Hole位置和Z 轴Offset。
确认ANC槽位置请参照$6030的[措施方法]中的ANC槽位置确认部分，确认相应
磁头的Z轴Offset值是否准确设置。
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MMI
错误码（
Error Code
）和问题解决
校正Z轴Offset方法请参照”Administrator’s Guide”的 “11.3.6 Head Z / R Offset
Calibration”。
$6050 Z轴进行PUT 后，没有移动到安全高度。[FREEZELEVEL]
[原因]
Z轴为吸嘴的PUT 动作上升（UP）时发生错误。
[措施 方法]
执行$6040措施方法。
$6060 因为Head 上有吸嘴，不能进行GET。[FREEZELEVEL]
[原因]
将要进行GET时，在Head上实际有吸嘴的情况。
[措施 方法]
按”STOP”按钮关闭蜂鸣器。
“按”RESET”按钮把设备转换成”IDLE”方式
用手确认该Head上有没有吸嘴。
点击”READY”按钮给设备提供电源。
相应磁头上实际存在吸嘴，但在ANC 菜单的对话框中设置为错误发生磁头上未
贴装吸嘴的状态，则核对’No real motion(Manual)’，再选择错误发生磁头后，选
择该磁头上实际配置吸嘴的 ANC槽，然后点击<Pick>重新进行ANC 设置。
$6070 在Head 上有吸嘴。但没有进行 GET。[FREEZE LEVEL]
[
原因]